Vzduchová nádrž
Oct 12, 2023| Vzduchová nádrž
Skupina vysokovákuových čerpadiel malých difúznych čerpadiel je zvyčajne konfigurovaná s plynovou nádržou, ktorá je usporiadaná medzi difúznym čerpadlom a predným čerpadlom na uchovávanie plynu vypúšťaného difúznym čerpadlom. Dôvody pre nastavenie plynovej nádrže sú:
1) Potreba ochrany systému pred nárazmi
Keď vákuový systém funguje, niektoré procesy vyžadujú prísnu odolnosť proti nárazom, takže predchádzajúce mechanické vákuové čerpadlo musí na určitý čas prestať fungovať, keď je vákuová komora v prevádzkovom stave. Počas tejto doby je všetok plyn vypúšťaný difúznym čerpadlom uložený v plynovej nádrži a plynová nádrž sa používa na výmenu mechanického čerpadla, aby sa zachovala normálna prevádzka difúzneho čerpadla.
2) Aby sa skrátil pracovný cyklus
Niektoré výrobné procesy vyžadujú uvedenie vákuovej komory do atmosféry výmenou za komponenty a nabíjanie bez uzavretia ohrievača difúzneho čerpadla. Predné čerpadlo vákuovej jednotky sa používa ako predčerpacie čerpadlo. Po naplnení sa vákuová komora predčerpá mechanickým čerpadlom a plynová nádrž sa počas tejto doby používa na udržiavanie difúzneho čerpadla (ako predné čerpadlo).
3) Aby sa zabránilo tomu, že veľké množstvo okamžitého výboja plynu vo vákuovej komore ovplyvní normálnu prevádzku difúzneho čerpadla
Pri výrobe vákuovým procesom je objem výfukových plynov v určitom časovom období obzvlášť veľký, ale tento čas je krátky. Ak nie je ekonomické konfigurovať mechanické čerpadlo podľa maximálneho objemu výfukových plynov v tomto čase, zásobník predstupňa môže byť v tomto čase nakonfigurovaný v systéme tak, aby skladoval časť plynu pri maximálnom výfukovom objeme, aby sa predišlo predstupňový tlak difúzneho čerpadla presahujúci maximálny spätný tlak.
4) Používa sa na stabilizáciu výstupného tlaku difúzneho čerpadla
Keďže výfuk z mechanickej vákuovej pumpy je pulzný, hoci frekvencia nie je vysoká (zvyčajne asi 7-krát/s), spôsobí to aj kolísanie výstupného tlaku difúznej pumpy a nastavenie plynovej nádrže ich môže znížiť. výkyvy.
Spoločnosť IKS PVD, stroj na dekoratívny náter, stroj na poťahovanie nástrojov, stroj na poťahovanie DLC, stroj na optické poťahovanie, linka na vákuové poťahovanie PVD, projekt na kľúč je k dispozícii. Kontaktujte nás teraz, e-mail: iks.pvd@foxmail.com