Pečenie - faktor, ktorý ovplyvňuje vákuový systém
Jul 02, 2018| Na pečenie, aby sa dosiahol tlak v ultra vysokom vákuovom rozsahu (<10> 8 hPa), musia byť splnené tieto podmienky:
1. Konečné vákuum vákuového čerpadla by malo byť menej ako desaťnásobok požadovaného maximálneho tlaku.
2. Materiály použité pre vákuové komory a komponenty musia byť optimalizované pre minimálne odplynenie a mali by mať primeranú úroveň povrchovej úpravy.
3. Mali by sa používať kovové tesnenia (napr. Prírubové prípojky CF alebo štandardné tesnenia Helicoflex).
4. Čistenie je nevyhnutné pre veľmi vysoké vákuum. Všetky časti musia byť pred inštaláciou dôkladne vyčistené a operátori musia počas inštalácie náhradných dielov nosiť rukavice bez mastnoty.
5. Zariadenie a vysokotlakové čerpadlá musia byť pečené.
6. Pred spustením ohrievača je potrebné predísť úniku a odstrániť. Na tento účel sa musí použiť detektor úniku hélia alebo kvadrupólový hmotnostný spektrometer.
7. Pečenie výrazne zvyšuje rýchlosť desorpcie a rozptýlenosť, čo vedie k drastickému skráteniu doby sania. Ako posledný krok výrobného procesu sa môžu komory UHV degradovať pri teplotách až do 900 ° C. Nasledujúca teplota pečenia môže dosiahnuť 300 ° C. Pokyny výrobcu pumpy pre najvyššiu teplotu varenia príruby vysokotlakového čerpadla typicky obmedzujú maximálnu teplotu pri práci na 120 ° C. Ak sa vo vákuovom zariadení používa zdroj tepla (napríklad sálavé vykurovanie), musí sa dodržať prípustný vyžiarený výkon.
8. Zariadenie sa uvedie do prevádzky po inštalácii. Po dosiahnutí tlaku 10 - 5 hPa zapnite ohrievač. Počas procesu zahrievania bol vákuový meradlo prevádzkovaný a odplynený po 10 hodinách. Ak sa použije nádoba z nehrdzavejúcej ocele a kovové tesnenie s vhodným stupňom povrchovej úpravy, postačí teplota pečenia 120 ° C a doba ohrevu asi 48 hodín na dosiahnutie tlakového rozsahu 10-10 hPa.
9. Pečenie by malo pokračovať, kým nedosiahne 100-násobok očakávaného maximálneho tlaku. Potom vypnite čerpadlo a vákuový komorový ohrievač. Po ochladení sa pravdepodobne dosiahne požadovaný maximálny tlak. Pri tlakoch nižších ako 5 x 10 až 10 hPa bude veľká vnútorná plocha výhodná na použitie čerpadla spojeného s plynom (titanové sublimačné čerpadlo), ktoré vyčerpáva vodík unikajúci z kovu pri vysokom objemovom prietoku.