Charakterizácia stupňa vákua, jednotky a rozdelenia oblasti vákua

Charakterizácia stupňa vákua, jednotky a rozdelenia oblasti vákua

IKS PVD, vyrábame zariadenia na vákuové nanášanie PVD, kontaktujte nás teraz, iks.pvd @ foxmail.come

Nie je rozumné používať tlak na vyjadrenie stupňa vákua, ktorý bol použitý v histórii merania vákua manometrom typu u.

Vo všeobecnosti vákuový systém sa obvykle používa hydrostatické fyzikálne množstvo izotropného neutrálneho tlaku plynu na vyjadrenie stupňa vákua. Z tohto dôvodu meranie vákuového stupňa prichádza iba na meranie tlaku. Osobitná pozornosť by sa však mala venovať podmienkam merania, ktorými sú stacionárny (náhodný pohyb), rovnovážny stav a izotropný jednobodový plyn v konečnej nádobe. V tomto prípade sú rozdiely rýchlosti maxwell, zákon o rozptylení kosín a koncept hydrostatického tlaku (p = nkT, v = 1 / 4nc, p = ρ gh) relatívne v súlade s objektívnou skutočnosťou, meranie stupňa vákua je relatívne jednoduché a ľahké.

Podľa definície stupňa vákua je lepšie vyjadriť stupeň vákua molekulovou hustotou n a nie je v rozpore s vyjadrením stupňa vákua tlakom. Keď sa meria tlak, plyn je vo všeobecnosti v rovnovážnom stave a vyhovuje maxwellovmu zákonu o rýchlosti distribúcie, to znamená, že p = nkT je pravdivé. Teplota plynu je konštantná v čase merania, takže tlak plynu p je úmerný molekulovej hustote n. Inými slovami, tlak je mierou molekulovej hustoty, takže vákuum môže byť vyjadrené ako tlak.

V kozmickom výskume je výskumným objektom pohyb nekonečného priestoru (1 ~ 10 KMS - 1 alebo vyšší) a pri pôsobení komplexnej neistoty, integrovanej atmosféry prostredia, zákon o rozdelení rýchlosti a zákon o rozptylovom kosinusu nemusí nutne stratil pôvodný fyzický význam, takže tlak merania vákua je zložitejší a ťažší.

Vo všeobecnosti je populárny a používa sa na vyjadrenie stupňa vákua tlakom, ale nie je jediný. Nasledujúce parametre možno použiť aj na vyjadrenie stupňa vákua:

Keď je stupeň vákua veľmi vysoký, to znamená, keď je molekulová hustota veľmi malá, štatistické kolísanie je veľmi zrejmé. Napríklad, keď tlak p = 10-12pa, štatistická fluktuácia je väčšia ako 5 krát 10-2 a tlak stratil skutočný význam. V niektorých prípadoch je teda tlak len relatívnym ukazovateľom iných množstiev .

1. Otázky a odpovede

Vákuové jednotky?

Tlak plynu vymedzený kolíziou molekuly plynu na povrchu je rýchlosť časovej zmeny vertikálnej zložky hybnosti molekuly plynu, ktorá sa zrazí s jednotkovou povrchovou plochou, to znamená sily prijatej na jednotku plochy v Pascal alebo Pa.

1 pa = 1 Nm - 2

Pri inžinierstve je niekedy hodnota pa príliš malá, kPa a MPa sa často používajú na vyjadrenie tlaku. Nízke vákuum, niekedy vyjadrené ako "vákuové percento", ako napríklad vákuové čerpadlo s vodným kruhom, vákuové čerpadlo s vratným pohybom a vákuové čerpadlo s rovnými vzduchovými koreňmi, ktoré sa často vyskytujú v tomto vákuovom bloku. Keď je tlak p> 102 Pa, percento vákua je delta.

Kde: p0 - štandardný atmosférický tlak, Pa

Vákuové zónovanie

Pomocou jednotky na meranie stupňa vákua možno kvantitatívne vyjadriť stupeň vákua. Avšak v súčasnosti rozsah tlakov vo vákuovej technológii dosahuje 20 rádov, aby sa uľahčilo používanie, niekedy je potrebné iba hrubšie poukázať na všeobecný rozsah stupňa vákua, zvyčajne kvalitatívne rozdelený na niekoľko oblastí zhruba pod vákuom , Fyzikálne vlastnosti molekulárneho pohybu plynov vo vákuovom stave a efektívny pracovný rozsah vákuovej pumpy a vákuového meradla sú považované za základ rozdelenia regiónov.

Pokiaľ ide o rozdelenie vákuových oblastí v Číne, termíny vákuovej technológie (gb3163-1982) stanovujú nasledovné:

Hrubé vákuum, nízke vákuum a vysoké vákuum sú rozdelené podľa priemernej voľnej dráhy molekúl plynu v porovnaní s charakteristickou veľkosťou d kontajnera. Hlavnou otázkou je, či kolízia medzi molekulami plynu alebo kolízie medzi molekulami plynu a stenou zariadenia hrá rozhodujúcu úlohu pri výskyte fyzických javov.

Hranica medzi vysokým vákuom a ultra vysokým vákuom je nastavená na 10-6 Pa. Hlavným dôvodom je zváženie mechanizmu fyzikálnej adsorpcie vo vákuu. Iba ak je tlak p <10-6pa zrejmý,="" môže="" byť="" získaný="" difúznym="" čerpadlom="" na="" extrakciu="" a="" tlak="" sa="" meria=""> Pokiaľ ide o hranicu medzi ultra vysokým vákuom a ultra vysokým vákuom, je to preto, že štatistické kolísanie (väčšie ako 5 x 10-2) nastáva pri p <10-12>

Vyššie uvedené oblasti vákua sú rozdelené do oblastí reprezentujúcich rozsah tlaku, pretože tlak je stále vyjadrený v stupňoch. Avšak pri nízkom vákuu, vysokom vákuu, veľmi vysokom vákuu a veľmi vysokom vákuu je uvedený tlak podstatne odlišný, len relatívna indikácia iných množstiev.

Fyzikálne charakteristiky vákua, vákuovej pumpy a vákuového meradla používané v každej oblasti sú uvedené v tabuľke 1.

Pri vývoji vákuovej technológie sa zmenilo aj rozdelenie oblastí vákua.