Difúzne čerpadlo ultravysoká vákuová jednotka
Mar 02, 2021| Difúzne čerpadlo ultravysoká vákuová jednotka
Konečný stupeň vákua ultravysokej vákuovej jednotky s difúznym čerpadlom ako hlavným čerpadlom je 10-7~10-8Pa.
Aby sa znížil vplyv spätného rozptylu plynu z predného štádia difúzneho čerpadla a backdiffúzia blokovania mechanického čerpadla na konečný stupeň vákua, môže byť v prednej fáze difúzneho čerpadla inštalované difúzne čerpadlo s nízkymi otáčkami čerpania na zníženie kompresného pomeru a difúzie chrbta. Ak sa nad vstup difúzneho čerpadla pridá sublimácia titánu, môže sa ďalej znížiť parciálny tlak dusíka z difúzneho čerpadla a získať ultravysoké vákuum 10-11Pa.
Spoločnosť IKS PVD, dekoratívny náterový stroj, stroj na nanášanie nástrojov, optický náterový stroj, linka na vákuovú povrchovú úpravu PVD. Kontaktujte nás teraz, E-mail: iks.pvd@foxmail.com