Experimentálne materiály a metódy pre efekt oblúkového zdroja prúdu na štruktúre cínu
Jun 22, 2018| V tomto dokumente boli tenké tenké filmy TiN nanesené na substráte z nehrdzavejúcej ocele a oblátky Si pomocou zariadenia na nanášanie viacerých oblúkových iónov. Vplyv oblúkového zdroja prúdu na štruktúru a tribologické vlastnosti tenkých vrstiev TiN bol študovaný zo zásady viacnásobného oblúkového pokovovania.
Experimentálne materiály a metódy
Podkladový materiál je z nehrdzavejúcej ocele (1Cr18Ni9Ti) s rozmermi 20 mm x 20 mm x 2 mm, s platničkami Si. Príprava fólie sa uskutočňovala na stroji s viacerými oblúkovými iónmi. Vzorka bola mechanicky leštená, alkalicky premytá, ultrazvukom vyčistená v alkohole a nakoniec úplne vysušená do čistej obalovej komory. Pred poťahovaním sa substrát vyčistil pomocou leptania Ar + počas 5 minút. Prietok argónu počas poťahovania bol nulový a fixný prietok N2 bol 0,22 SLM / s. Špecifické parametre procesu sú uvedené v tabuľke 1.
Tabuľka 1 Parametre procesu nanášania filmu TiN
| Zdroj oblúkového prúdu (A) | Tlak (x10 -1 Pa) | Teplota zaistenia (℃) |
| 40 | 4.8 | 290 |
| 50 | 4.5 | 306 |
| 60 | 4.3 | 326 |
| 70 | 3.3 | 345 |
| 80 | 2.4 | 30 |
| 90 | 1.3 | 398 |
| 100 | 1.0 | 402 |
Povrchová morfológia a morfológia povrchovej fraktúry filmu boli pozorované poľnou emisnou skenovacou elektrónovou mikroskopiou (FE-SEM). Tvrdosť filmu TiN sa merala pomocou testeru s mikrotvrdosťou s hmotnosťou 25 g a časom naplnenia 10 s. Koeficient trenia fólie sa meral samovoľne zmeneným laboratórnym zariadením. Vzorka TiN je spojená s oceľou A3, aby vytvorila dvojicu trecích párov. Počas testu sa horná vzorka fixuje, oceľový disk A3 sa otáča v suchom trení, otáčky sú 0,87 rev / min a experimentálne zaťaženie je 1N.