Systém vysokého vákua

Systém vysokého vákua
Systém vysokého vákua je široko používaný a rozsah jeho pracovného tlaku je vo všeobecnosti 1,33×10-2 ~ 1,33×10-3Pa. Bežné čerpacie systémy sú:
(1) Vákuový systém mechanického čerpadla série difúznych čerpadiel. Ako je znázornené na obrázku 5-2, tento systém dokáže dosiahnuť vákuum 10-2 ~ 10-5Pa, ktoré sa vo všeobecnosti používa v aplikačných zariadeniach s relatívne malými výfukovými plynmi počas prevádzky. Systém má výhody jednoduchej konštrukcie, spoľahlivej prevádzky a nízkych nákladov. Nevýhodou je pomalý štart systému a dlhá doba predkreslenia. Olejové pary difúzneho čerpadla sa ľahko spätne prúdia do vákuovej komory.
(2) olejové posilňovacie čerpadlo série difúznych čerpadiel a potom sériový vákuový systém mechanického čerpadla. Systém má krátky čas predlosovania, ale pomalý štart.
(3) difúzne čerpadlo série Roots čerpadlo, a potom série mechanické čerpadlo vákuový systém. Štartuje sa pomaly, ale čas predčerpania je krátky.

Spoločnosť IKS PVD, stroj na dekoratívny náter, stroj na poťahovanie nástrojov, stroj na poťahovanie DLC, stroj na optické poťahovanie, linka na vákuové poťahovanie PVD, projekt na kľúč je k dispozícii. Kontaktujte nás teraz, e-mail: iks.pvd@foxmail.com