Zavedenie regulátora hmotnostného prietoku

Regulátor hmotnostného prietoku (MFC) sa používa na presné meranie a reguláciu hmotnostného prietoku plynu. Zvyčajne sa skladá zo snímača prietoku, regulačného ventilu prietoku, riadiaceho obvodu zosilňovača a riadiaceho kanála skratov. Jeho pracovné napájanie a zobrazenie tokov a nastavenie operácie jeho podporným ukazovateľom toku napájania.

Použitie a funkcie

MFC zohráva dôležitú úlohu vo vedeckom výskume a výrobe v mnohých oblastiach, ako je polovodičový mikroelektronický priemysel, vývoj špeciálnych materiálov, chemický priemysel, ropný priemysel, medicína, ochrana životného prostredia a vákuum.

Typické aplikácie zahŕňajú: Elektronické procesné zariadenia, ako je difúzia, oxidácia, epitaxia, CVD, leptanie plazmou, rozprašovanie, implantácia iónov; a zariadenia na vákuové nanášanie, plynové chromatografy a iné analytické prístroje.

Regulátor hmotnostného prietoku a hmotnostný prietokomer s vysokou presnosťou, dobrou opakovateľnosťou, rýchlou rýchlosťou odozvy, jemným štartom, stabilným a spoľahlivým rozsahom pracovného tlaku (ktorý môže pracovať pri vysokotlakovom alebo vákuovom podklade) je prevádzka jednoduchá. MFC môže byť inštalovaný v ľubovoľnej polohe a je pripojený k počítaču na realizáciu automatického ovládania.

Prietokomer je všeobecne rozdelený do nasledujúcich typov:

1. Objemový prietokomer

Používa mechanický merací prvok na kontinuálne rozdeľovanie kvapaliny do jednej známej objemovej časti. Objemový prietok kvapaliny sa meria podľa počtu prípadov objemu kvapaliny naplnenej a vyprázdňovanej postupne od meracej komory.

2. Floatový prietokomer (prietokomer rotora)

Plavákový prietokomer je druh prietokomeru s premenlivou plochou, vo vertikálnom kužeľovom kanáli zhora nadol, kruhový prierez gravitácie plaváka je podporený kvapalnou silou, takže plovák môže byť voľný v kužele Rise a pád.

3. Diferenčný prietokomer

Vychádza z rozdielového tlaku vytvoreného detektorom prietoku namontovaného v potrubí, stavu známej kvapaliny a merača na výpočet prietoku medzi potrubím a potrubím.

4. ultrazvukový prietokomer Vortex (VSF)

Nevýkonný vírivý generátor sa umiestni do tekutiny a tekutina sa striedavo oddelí na obidvoch stranách generujúceho telesa, aby sa uvoľnili dve série pravidelne prekladaných vortexových nástrojov.

5. Prietokomer turbíny

Je to hlavný typ prietokomeru rýchlosti. Používa rotor s viacerými lopatkami (turbína) na snímanie priemernej rýchlosti kvapaliny a odvodzuje prístroj objemu prúdu alebo celkového množstva.

6. ultrazvukový prietokomer

Meranie toku meraním účinku prietoku tekutiny na ultrazvukový lúč (alebo ultrazvukový impulz).

7. Elektromagnetický prietokomer

Elektromagnetický prietokomer je druh nástroja na meranie vodivosti kvapaliny podľa zákona Faradayovej elektromagnetickej indukcie.

8. Tepelný prietokomer

Snímač tepelného prietokomeru obsahuje dva snímače, snímač rýchlosti a snímač teploty. Môžu automaticky kompenzovať a kalibrovať zmenu teploty plynu. Elektrická vykurovacia časť prístroja zahrievala snímač rýchlosti na určitú hodnotu vyššiu ako je teplota pracovných podmienok, takže sa vytvoril konštantný teplotný rozdiel medzi snímačom rýchlosti a snímačom pri pracovnej teplote. Ak je teplotný rozdiel udržiavaný konštantný, energia spotrebovaná elektrickým ohrevom je úmerná hmotnostnému prietoku prúdu plynu a je vhodná na meranie jedného plynu a pevného podielu viaczložkového plynu.