Zavedenie zaujatosť

Skreslenie napätia odkazuje na negatívne napätie nanáša na substrát počas procesu povliekania. Kladnej svorke zaujatosť napájanie je pripojený k vákuovej komory, kým vákuovej komory je uzemnený. Záporný pól skreslenie napätia je pripojená k obrobku. Pretože napätie Zeme je všeobecne považovaný za nulový potenciál, napätia na obrobok, že negatívne skreslenia, označovaná ako zaujatosť.

1. funkcia negatívne skreslenie

◆Provide častica energie;

◆Heating vplyv na substrát;

◆Removing plynu a mastné nečistoty adsorbovaný na podklade je prospešné pre zlepšenie lepenie sila filmu;

◆Activate povrchu podkladu;

◆For veľké častice arc iónové pokovovanie majú účinok čistenia.

2. Klasifikácia skreslenie napätia

(1)Podľa vlnovú môže byť rozdelená do:

DC kľudový DC pulzného zaujatosť

DC prekrýva pulz zaujatosťBipolárny impulz zaujatosť

(2)Podľa nutnosť prepínať vysokonapäťových a nízkonapäťových pri moci, môže byť rozdelená do:

Napájanie výstupu diagram prepínanie vysokého napätia a nízkeho napätia

Nemusíte prepínať vysoké a nízke napätie plynulo kontinuálne nariadenia výstup

Nastaviteľné parametre zaujatosti napájanie: zaujatosť amplitúdy, clo pomer, frekvenciu a vlnovú.

3. Charakteristika zaujatosť napájanie

◆The počet arc hasenia za minútu.

◆Detection citlivosť veľké oblúky (mJ/kW zistiteľné arc energie).

4. zaťaženia charakteristické skreslenia

Pracovného zaťaženia zaujatosť je plazma a plazma exponáty odporových pri DC kľudový. Po druhé, keď pulzný predmagnetizácia, plazmy exponáty odporových + kapacitné, séria spojenia odporov a kondenzátorov je možné považovať. Podstatou kapacitné je spôsobená plazmy plášť k podkladu.