Predstavenie spôsobu prevádzky vákuového nanášacieho stroja

Vákuový lakovací stroj je náterový nástroj, ktorý musí pracovať vo vyššom vákuu. Rozdeľuje sa na dva druhy odparovania a rozprašovania.

Proces odparovania je vo všeobecnosti ohrievací cieľový materiál, ktorý spôsobuje, že povrchové zložky cieľového materiálu sa odparujú v atómovej alebo iónovej forme a usadzujú sa na povrchu substrátu a vytvárajú tenkú vrstvu v procese tvorby filmu.

Povrch rozprašovania môže byť jednoducho chápaný ako použitie elektrónov alebo vysokoenergetického lasera na bombardovanie cieľa a vytvorenie povrchových zložiek cieľa rozprašovaním vo forme atómov alebo iónov a nakoniec uložených na povrchu substrátu, tenkým filmom v procese tvorby filmu.

Použite kroky:

1. Spôsob ovládania elektromechanickej ovládacej skrine pre vákuové pokovovanie

(1) Otvorte vodné čerpadlo a zdroj vzduchu.

(2) Zapnite hlavné napájanie.

(3) Otvorte napájací zdroj čerpadla a vákuového meracieho prístroja, pozíciu polohy vákua V1, čakajte na hodnotu nižšiu ako 10 a potom zadajte ďalšiu operáciu. Pravdepodobne potrebuje päť minút.

(4) Zapnite mechanické čerpadlo, vykonajte predbežné čerpanie, otvorte napájanie turbomolekulárneho čerpadla a spustite molekulárne čerpadlo. Vypínač vákua sa prepne do polohy V2. Keď sa stupeň vákua čerpá na menej ako 2, zastavte čerpanie a trvá to 20 minút.

(5) Keď sa zistí, že čítanie turbínovej molekulárnej pumpy dosiahne hodnotu 250, predbežné čerpanie sa uzavrie, potom sa otvorí podkladové čerpadlo a vysoko vákuové ventily sa stále evakuujú. Až po dosiahnutí 2 × 10-3 podtlaku sa môže zapnúť napájanie elektrickej pištole.

2. Prevádzka vákuového nanášacieho stroja

(1) Zapnite hlavné napájanie.

(2) Súčasne otvorte elektronické riadenie I a II napájacieho zdroja: podľa elektronickej ovládacej pištole sa rozsvieti napájanie, spínač oneskorenia a potom kontrolka oneskorenia, kontrolka napájania a kontrolka. Po troch minútach zhasne indikátor oneskorenia a ochrana. Ak zadné dvere nie sú zatvorené alebo je poruchové relé vadné, kontrolka bude vždy svietiť.

(3) Otvorte vysoký tlak, vysoký tlak dosiahne viac ako 10KV, nastavte lúč na približne 200mA, mriežka štítu je 20V / 100mA, prúd vlákien 1,2A, výkyv prúdu 1 ~ 1,7.

3. Sekvencia odstavenia vákuového nanášacieho stroja

(1) Vypnite výstroj meradla a molekulárne čerpadlo.

(2) Keď molekulárne čerpadlo ukazuje až 50, ventil vysokého podtlaku, podporné čerpadlo a mechanické čerpadlo sú postupne zatvorené. Pravdepodobne potrebuje 40 minút.

(3) Keď molekulárne čerpadlo ukazuje menej ako 50, uzavrite prídržné čerpadlo.