Bezpečnostné opatrenia pre kalibráciu ionizačného vákuového meradla

Vákuový merač sa dá rozdeliť na absolútny vákuometer a relatívny vákuový merací prístroj podľa jeho meracích vlastností. Absolútnym vákuovým meradlom je vákuum, ktoré určuje tlak meraním samotnej fyzickej veličiny. Napríklad tlakový manometer typu U, vákuový merací prístroj typu kompresie je absolútny vákuový meradol. Vákuový merač, ktorý určuje tlak meraním fyzikálneho množstva súvisiaceho s tlakom a porovnávaním s absolútnym vákuovým meradlom, sa nazýva relatívny vákuový meradol. Ionizačným vákuovým meradlom a vákuovým meradlom kapacitného filmu, vákuovým meradlom na meranie tepla, ktoré sú všetky relatívne vákuové meradlá.

Štruktúra ionizačného obrysu je valcovitá trióda s troma elektródami: katóda - emitujúca elektróda, urýchľujúci elektrón - zber polárnych zberných iónov. Všeobecná katóda je plus nulový potenciál, mriežka je plus kladný potenciál a kolektor je plus negatívny potenciál.

Hlavné výhody :

• Zmerajte celkový tlak plynu a výparov.

• Rýchla odozva, nepretržité čítanie a diaľkové ovládanie.

• Široký rozsah merania, dobrá lineárnosť a vysoká presnosť merania.

nevýhody:

• Ak je tlak vyšší ako 10 ^-1 pa, je ľahké oxidovať vlákno a akonáhle systém náhle vystaví atmosféru, meradlo sa spáli.

• Chyba deflácie sklenenej banky a elektródy vedie k chybe merania.

Pri kalibrácii ionizačného vákuového meradla je potrebné venovať pozornosť nasledujúcim šiestim bodom:

1. Keď je obrys pripojený k systému, neuzavretý obrys a meracie obvody sú spojené, aby sa skontrolovalo, či je obrys normálny a potom systém prijíma.

2. V procese kalibrácie, ak dôjde k poruche a neidentifikované, urobte neotvorený obrys a posúďte, či ide o problém s obrysom alebo obvodom. Ak je normálne nahradiť neotvorený obrys, čo znamená, že pôvodný obrys je v problémoch; ak je neotvorený obrys stále abnormálny, čo naznačuje problém s obvodom, čím sa zužuje rozsah poruchy.

3. Inštalácia meradla by mala byť inštalovaná vertikálne. Pri zahrievaní, odplynení a pečení sa mriežka a katóda deformujú a relatívna poloha sa zmení, čo vážne ovplyvní presnosť merania.

4. Pred otvorením vlákna je možné posúdiť, či je vákuum vo vákuovom systéme menšie ako ^10-1 pa, potom otvorte vlákno. Ak je stupeň vákua príliš nízky, spôsobí to katódu oxidácie meradla a spáli.

5. Pred čítaním by sa emisný prúd, nulový bod a plný stupeň mali najskôr upraviť. Konkrétne kroky sú: emisný prúd - nulový bod - plný rozsah - emisný prúd.

6. Rozmer ionizačného vákua je možné kalibrovať iba 10 minút predhriatia.