Kondenzačné čerpadlo sa na účely čerpania kondenzuje na nízkoteplotnej ploche

1) Kondenzačné čerpadlo sa na účely čerpania kondenzuje na nízkoteplotnej ploche. Ak je vo vákuovej komore studený povrch, dôjde ku kondenzácii, ktorá môže zohrávať úlohu odsávania vzduchu. Toto je pracovný princíp kryogénneho kondenzačného čerpadla a kryogénneho chladiča. Tlak nasýtených pár úzko súvisí s teplotou a keď teplota klesá, tlak nasýtených pár klesá.

Tabuľka 1 ukazuje štandardné zloženie atmosféry. Obrázok 1 ukazuje teplotnú krivku tlaku nasýtených pár rôznych plynov. Ako je možné vidieť na obrázku 1, keď teplota klesne na 20 K, s výnimkou neónov, vodíka, hélia a iných ťažko kondenzovateľných plynov, tlak nasýtených pár všetkých ostatných zložiek vo vzduchu je nižší ako 10 až 10 torr. Keď sa teda vzduchotesná nádoba naplnená vzduchom ochladí na 20 K, vákuum môže dosiahnuť 1,2E-3 torr. Pri 4,2 kg zostáva iba hélium a vákuum je až 5 e-5torr. Chladný povrch kondenzačného čerpadla sa môže všeobecne zvoliť pri asi 14 - 20 000 kPa a spôsob preplachovania ľahkým kondenzačným plynom alebo vysávanie inými čerpadlami sa používa na značné zníženie množstva vodíka, hélia a iných ťažkých kondenzačných plynov v čerpanom čerpadle. systém. Malé množstvo ťažko kondenzujúceho plynu, ktorý počas prevádzky uniká do systému, sa dá odstrániť aj pomocou iných čerpadiel.

[tabuľka 1] štandardné zloženie atmosféry

[Obr. 1] teplotný pomer tlaku nasýtených pár rôznych plynov

IKS PVD, sme výrobca vákuového nanášacieho stroja z Číny, viac informácií, kontaktujte: iks.pvd@foxmail.com