Tvrdosť DLC filmu

Tvrdosť filmu DLC pripraveného oblúkovou metódou s magnetickou filtračnou katódou (FVCA) je podobná ako tvrdosť diamantového filmu. Tvrdosť DLC filmu pripraveného metódou vákuového katódového oblúka (VCAD) je nad HV5000. Tvrdosť DLC filmu pripraveného magnetrónovým naprašovaním je vo všeobecnosti nižšia ako HV2000. Okrem toho proces nanášania a doping ovplyvňujú aj tvrdosť DLC filmu. Správne predpätie, tlak a atmosféra môžu zlepšiť tvrdosť filmu DLC v rôznych stupňoch. Väčšina experimentov ukazuje, že doping môže v rôznej miere znížiť tvrdosť filmu DLC, ale niektorí ľudia si myslia, že začlenenie Si môže zlepšiť tvrdosť filmu DLC. DLC film má vo všeobecnosti veľké vnútorné napätie. Vnútorné napätie nesúvisí len so štruktúrou a komponentmi DLC filmu, ale má tiež veľký vzťah s procesom tvorby filmu. Napríklad vo filme H-DLC má vnútorný stres veľký vzťah s obsahom H. Pri zachovaní vysokej tvrdosti filmu DLC môže začlenenie N, Si a niektorých kovových prvkov znížiť vnútorné napätie. Vnútorné napätie výrazne ovplyvňuje lepiace vlastnosti DLC filmu a substrátu. Keď sa DLC film nanáša priamo na substrát, väzbová sila filmu je vo všeobecnosti slabá. Čím tenšia je DLC fólia, tým lepšia je väzbová sila medzi fóliou a substrátom. Okrem toho je možné priľnavosť filmu DLC zvýšiť pridaním prechodovej vrstvy medzi film DLC a substrát. Ak sa ako prechodová vrstva použije Cr, výrazne sa zlepší väzba medzi membránou a substrátom. Rôzne suterénne páry prechodových vrstiev sa líšia.

Spoločnosť IKS PVD, stroj na dekoratívny náter, stroj na poťahovanie nástrojov, stroj na poťahovanie DLC, stroj na optické poťahovanie, linka na vákuové poťahovanie PVD, projekt na kľúč je k dispozícii. Kontaktujte nás teraz, e-mail: iks.pvd@foxmail.com