Bezolejový systém ultra vysokého vákua naprašovacej iónovej pumpy
Aug 28, 2021| Bezolejový systém s veľmi vysokým vákuom naprašovacej iónovej pumpy
Rozprašovacie iónové čerpadlo je hlavným čerpadlom a ako predčerpávacie čerpadlo sa používajú dve molekulárne sitové čerpadlá. Jedno čerpadlo na molekulárne sito sa používa na odstraňovanie plynu za atmosférického tlaku vo vákuovej komore a naprašovacom iónovom čerpadle a druhé na odstraňovanie plynu uvoľneného pri spustení čerpadla na pečenie a iónov.
rozprašovací iónový pumpový systém
1.Vákuová komora 2. Podtlakomer3. veľmi vysoký vákuový ventil 4. veľmi vysoký vákuový uzatvárací ventil 5. rozprašovací iónová pumpa 6. vysoký vákuový ventil 7. molekulárne sitové čerpadlo 8.Termočlánkový vákuomer
Spoločnosť IKS PVD, dekoratívny poťahovací stroj, poťahovací stroj, optický poťahovací stroj, vákuová lakovacia linka PVD, k dispozícii je projekt na kľúč. Kontaktujte nás teraz, e-mail:iks.pvd@foxmail.com