Súprava ultravysokého vákua
Oct 13, 2023| Súprava ultravysokého vákua
Jednotka s ultravysokým vákuom pracuje v rozsahu ultravysokého vákuového tlaku 10-6 ~ 10-10Pa, okrem požiadavky, aby materiál vákuovej komory mal veľmi nízky výstup plynu, a veľmi malá miera úniku plynu a môže vydržať pečenie pri vysokej teplote 200 ~ 450 stupňov, požiadavky na jednotku tiež zahŕňajú:
(1) maximálny stupeň vákua hlavného čerpadla by mal byť vysoký, aspoň 10-7 ~ 10-8Pa nad;
(2) Hlavné čerpadlo má určitú rýchlosť čerpania v rozsahu pracovného tlaku ultra vysokého vákua;
(3) Hlavné čerpadlo jednotky alebo časť nad prívodom vzduchu hlavného čerpadla vydrží pečenie pri vysokej teplote 200 ~ 450 stupňov;
(4) Parciálny tlak spätného toku plynu (vrátane pár pracovnej kvapaliny a rozpusteného plynu) do autonómneho čerpadla by mal byť dostatočne nízky;
(5) Hlavné čerpadlo so silnou selektivitou čerpaného plynu by malo byť vybavené dostatočne veľkým pomocným čerpadlom;
(6) Potrubie, ventily a iné komponenty nad sacím otvorom hlavného čerpadla jednotky, výber a utesnenie materiálov by mali byť obzvlášť opatrné. Vo všeobecnosti sa používa nehrdzavejúca oceľ s nízkym výkonom plynu a kovovou tesniacou štruktúrou a tesniacimi materiálmi.
Spoločnosť IKS PVD, stroj na dekoratívny náter, stroj na poťahovanie nástrojov, stroj na poťahovanie DLC, stroj na optické poťahovanie, linka na vákuové poťahovanie PVD, projekt na kľúč je k dispozícii. Kontaktujte nás teraz, e-mail: iks.pvd@foxmail.com