Video dešifruje princíp fungovania molekulárnej pumpy

Video dešifruje princíp fungovania molekulárnej pumpy

https://v.qq.com/x/page/q1346vypd11.html

Ako fungujú molekulárne pumpy?

pracovný princíp:

Mechanizmus pumpy molekulárneho čerpadla sa líši od mechanizmu mechanického čerpadla, ktoré sa spolieha na zmenu objemu komory pumpy na odvod vzduchu.

Molekulárne čerpadlo je poháňané motorom, aby sa otáčalo vysokou rýchlosťou. V oblasti molekulárneho toku sa molekuly plynu zrážajú s povrchom vysokorýchlostnej lopatky a hybnosť sa prenáša na molekuly plynu, takže niektoré z molekúl plynu sa pohybujú v smere tuhého povrchu tela a sú vylúčené z pumpy. , na dosiahnutie účelu odsávania vzduchu. Zvyčajne sa pri vysokorýchlostnom pohybe tuhého povrchu tela prenášajú molekuly plynu a spôsobuje jeho pohyb v určitom smere javu známeho ako jav molekulárnej trakcie, pričom sa používa tento jav vyrobený z vákuovej pumpy známej ako trakčná molekulárna pumpa (gad pump). Výhodou trakčného molekulárneho čerpadla je to, že počiatočný čas je krátky, v stave molekulárneho toku má vysoký kompresný pomer, môže odstrániť všetky druhy plynov a pár, zvlášť vhodné na extrakciu ťažších plynov. Pretože je však rýchlosť čerpania trakčného molekulárneho čerpadla nízka, tesniaca medzera je príliš nízka, spoľahlivosť práce je nízka, ľahká mechanická porucha a výrobné ťažkosti sa v skutočnosti používajú zriedka. Neskôr sa trakčné molekulárne čerpadlo zlepšilo a objavilo sa turbomolekulárne čerpadlo.

Turbomolekulárne čerpadlo obsahuje viac skupín striedajúcich sa listov rotora a pevných listov rotora a na každom liste je veľa šikmých lopatiek, ako je znázornené na obr. 1. Skutočné turbomolekulárne čerpadlo sa skladá z viacstupňovej kaskády, menovite striedavo sú usporiadané ovládacie čepele, pevné čepele a pohyblivé čepele. Pohyblivé lopatky fungujú ako lopatky elektrického ventilátora, keď sa otáčajú a čerpajú plyn z jednej strany na druhú. Zvýšenie rýchlosti molekulárnej pumpy je výhodné pri zlepšovaní rýchlosti čerpania molekulárnej pumpy. Ak sa molekuly plynu pohybujú rýchlejšie z dôvodu obmedzenia rýchlosti čepele, je ťažšie pumpovať vákuum.

Je vidieť, že turbomolekulárne čerpadlo je tiež druhom mechanického vákuového čerpadla. Kombinácia vysokorýchlostných rotačných viacstupňových lopatiek turbíny a statických lopatiek sa používa na odsávanie vzduchu, čo vytvára vysoký kompresný pomer pre extrahovaný plyn v oblasti molekulárneho toku, aby sa dosiahol požadovaný vákuový výkon. Konečné vákuum turbomolekulárneho čerpadla je vyššie ako difúzne čerpadlo až do 10 ^ -8pa. V normálnej prevádzke je potrebný určitý stupeň vákua predného stupňa, ktorý sa mierne mení v závislosti od čerpadla, zvyčajne v rozsahu od 1 do 200 Pa. Mechanické čerpadlo môže byť použité ako čerpadlo predného stupňa. Vysoko vákuová jednotka sa skladá z molekulárnej a mechanickej pumpy. Kvôli vysokej rýchlosti turbomolekulárneho čerpadla je obvykle poháňaný motorom if a frekvencia napájacieho zdroja if je medzi 300 - 400 Hz. Turbomolekulárne čerpadlá sú obvykle chladené vodou.

Zložené molekulárne čerpadlo je sériová kombinácia turbo molekulárneho čerpadla a trakčného molekulárneho čerpadla, ktoré kombinuje výhody oboch druhov čerpadiel do jedného a môže byť v širokom rozsahu tlaku 10 ^ -6-1pa, s väčšou rýchlosťou čerpania. a vyšší kompresný pomer, ktorý výrazne zlepšuje výstupný tlak čerpadla.

  prevádzkové podmienky :

(1) rýchlosť rotora dosiahne 20 000 ot / min, takže počiatočný čas molekulárneho čerpadla je relatívne dlhý.
(2) plyn je v stave molekulárneho toku, takže musí byť vybavený predným stupňom čerpadla. Všeobecne sa čerpadlo s rotačnou lopatkou používa ako čerpadlo s predným stupňom

Vlastnosti molekulárneho čerpadla:

Molekulárne čerpadlo na mazanie oleja: množstvo mazacieho oleja je malé a vo vákuovej časti predchádzajúcej fázy je znečistenie vákuovej komory malé.
Mazacia molekulárna pumpa na mazanie: množstvo mazacieho tuku je veľmi malé. Predbežná suchá pumpa môže dosiahnuť čisté vákuum takmer bez oleja.
Plne magnetická suspenzná molekulárna pumpa: nie je potrebné mazať, je možné ju používať so suchou pumpou, čisté vákuové prostredie bez oleja.

Ďalšie bežné použitia:

1. Analýza (hmotnostná spektrometria, elektrónový mikroskop atď.)
2. Polovodiče (elektronické komponenty, integrované obvody, flexibilné solárne články atď.)
3. Optika / sklo (tepelná ochrana, antireflexia, odraz, optický filter)
4. Náter (ochrana povrchu, dekoratívne farby, displej, obrazovka)
5. Vákuová metalurgia (vákuová pec, vákuové spájkovanie, vákuové spekanie, vákuová zliatina,)
6. Detekcia netesnosti (vákuový systém, palivová nádrž vozidla, airbag)
7. Výskumné experimenty (lekárske zobrazovanie magnetickou rezonanciou, fyzika jadrových častíc, výskum fúzie, laserové aplikácie a oveľa viac)
8. Priemysel výroby lámp a súvisiace odvetvia

IKS PVD, povlakovací stroj používa turbo molekulárne čerpadlo s magnetickou levitáciou. kontaktujte nás teraz a získajte viac podrobností o vákuovom nanášacom stroji PVD, iks.pvd @ foxmail.com