Aké sú technické a štrukturálne požiadavky na odsávací stroj na odparovanie?
Jan 29, 2019| Aké sú technické a štrukturálne požiadavky na odsávací stroj na odparovanie?
Technológia IKS PVD, kontaktujte nás teraz, iks.pvd@foxmail.com
I. požiadavky na štruktúru
1, štruktúra zariadenia by mala byť primerané rozloženie, krásny tvar, ľahko ovládateľný, ľahko udržiavať.
2. Štruktúra a veľkosť statických a dynamických tesnení v zariadení musí zodpovedať ustanoveniam GB / T 6070 a JB / T 1090 ~ 1092.
3. Na potrubiach s nízkym a vysokým vákuom a na komore na nanášanie náterov sa musí inštalovať vákuový meradiel na meranie tlaku každej časti samostatne.
4. Ak je vákuová jednotka zariadenia ovládaná difúznym čerpadlom, musí byť na vstupe difúzneho čerpadla namontovaná priehradka alebo chladiaca studňa.
5, má byť pokovovací priestor pozorovacie okno, pri procese lakovania radiačného zariadenia by pozorovacie okno malo byť vybavené antireflexnými šošovkami.
6, s zariadením na pečenie obrobku, by mala byť elektróda na meranie teploty alebo zariadenie na meranie teploty.
7, rýchlosť otáčania otočného mechanizmu rámu obrobku by mala spĺňať požiadavky na konštrukciu výrobku.
8. Zariadenie vybavené zariadením na ionizáciu alebo zariadením na vyžarovanie nízkoenergetických iónov s širokým lúčom musí byť schopné pracovať normálne a stabilne dlhšie ako 30 minút v rámci parametrov špecifikovaných v požiadavkách na konštrukciu výrobku.
9. Ohrievač s volfrámovým drôtom ako zdrojom výparného tepla by mal byť schopný odparovanie odparovacieho materiálu normálne av procese odparovania by geometria ohrievača nemala ovplyvňovať normálne odparovanie.
10. Zdroj odparovania zariadenia by mal byť stabilný a ľahko nastaviteľný a ovládateľný. Technické požiadavky na rôzne zdroje odparovania (ako zdroje odparovania odporu, zdroje odparovania elektrónového lúča, zdroje odparovania iónového lúča, zdroje odparovania lasera, indukčné zdroje odparovania atď.) Sa špecifikujú v súlade s príslušnými normami pre výrobky.
11. Ak zariadenie používa zdroj odparovania s nízkym napätím a vysokým odberom prúdu, každý ohrievač zdroja výparov pracuje normálne v stave napätia 4V ~ 20V a prúde 50A ~ 180A.
Ii. Požiadavky na výrobu
1. Kvalita obrábania, kvalita zvárania a kvalita montáže častí a súčastí zariadenia musia byť v súlade s ustanoveniami technických dokumentov výrobcu.
2. Hodnota drsnosti Ra vnútorného povrchu náterového a tesniaceho povrchu zariadenia nesmie byť väčšia ako 1,6 μm a všetky plochy vo vákuu musia byť účinne vyčistené a vysušené vákuom. Všetky rotujúce časti, zdvíhacie mechanizmy a iné činnosti by mali byť pružné, nezaslepené, stagnácia, voľné, trasenie a abnormálny zvukový jav atď.
3. Materiály hlavných častí a komponentov zariadenia musia byť v súlade s príslušnými materiálovými normami.
4. Kvalita podporných elektrických zariadení musí byť v súlade s technickými dokumentmi výrobcu a musí zabezpečovať bezpečnosť a spoľahlivosť zariadenia počas prevádzky a prevádzky.
5. Kvalita vzhľadu zariadenia nesmie obsahovať žiadne nefunkčné požiadavky, ako sú ostré rohy, okraje, vyvýšeniny a hrubé povrchy. Hrana spojovacej plochy častí by mala byť čistá a dokonca aj bez zjavnej dislokácie. Kovové časti by mali byť pevné povlak, žiadny spad a hrdza a iné javy, všetky silné časti by mali byť vrstva hrdze. Povrch náteru zariadenia by mal byť jasný a čistý, krásny, pevný, bez odlupovania, peelingu a iných javov.
6. Pomocné výrobky zakúpené zo zariadenia musia spĺňať príslušné normy pre výrobky a musia mať osvedčenia o kvalite. Samočinné pomocné výrobky v zariadení môžu byť použité len po prechode inšpekcie inšpekčným oddelením výrobcu.
7. Rôzne zdroje odparovania, pomocné zdroje iónov a bombardovanie iónov, otáčanie obrobku, pečenie obrobku, predpätie obrobku, monitorovanie hrúbky filmu a ďalšie zariadenia v zariadení. Mal by sa vykonať ladenie jednotlivých položiek a ladenie kĺbov. vyhrievaný na menovitú teplotu nesmie teplota vonkajšieho povrchu vákua presiahnuť 45 stupňov a pohyblivá časť zariadenia musí pracovať normálne.