Analýza schopnosti prenášať energiu cieľov rozprašovania Magnetron
May 24, 2018| 1. Cieľová oblasť a rozsah zaťaženia
(1) Hustota výkonu kruhového planárneho cieľa magnetrónu je všeobecne 1 ~ 25w / cm2
(2) Hustota výkonu obdĺžnikového planárneho cieľa magnetrónu je 1 ~ 36w / cm2
(3) Hustota výkonu stĺpcového magnetrónového cieľa a kónického planárneho magnetrónového cieľa (S pištoľ) je všeobecne 40 ~ 50w / cm2.
2. Skutočná nosná sila cieľa magnetrónu
Okrem technológie rozprašovania a požiadaviek na kvalitu filmu je skutočný únosový účinok magnetrónového cieľa takisto úzko spojený s podmienkami chladenia a rozptyľovania tepla cieľa.
Magnetronové ciele možno rozdeliť na dva typy "priameho cieľa chladenia vodou" a "nepriameho cieľa chladenia vodou" založené na metóde chladenia.
Vzhľadom na starnutie cieľa po dlhodobom použití dochádza k slabému stavu jeho rozptylu tepla a berúc do úvahy rôzne koeficienty prenosu tepla rôznych cieľových materiálov, konečný zaťažovací výkon magnetrónového cieľa a skutočný maximálny výkon priameho cieľa vodného chladenia môže byť nastavená mierne nižšia ako horná hranica rozsahu hustoty výkonu. A skutočné maximálne zaťaženie cieľa nepriameho vodného chladenia môže byť nastavené približne na polovicu hornej hranice rozsahu hustoty výkonu.
Keď magnetrónové ciele (hlavne Cu, Ag, Brass a Al bronz) "samoapravujú", zvyčajne používajú magnetrónový rozprašovací terč, ktorý je špeciálne navrhnutý tak, aby "riadil chladenie vodou". Konečná nosná sila na použitie musí byť väčšia ako horná hranica rozsahu cieľovej hustoty výkonu.