Bias Power Supply

Predpäté napájanie

Predpätý napájací zdroj sa používa v technológii viacoblúkového iónového aj magnetrónového naprašovania. Len preto, že rýchlosť ionizácie magnetrónového naprašovania je oveľa nižšia ako pri viacoblúkovom iónovom pokovovaní, výkon požadovaného predpätia je menší. V súčasnosti je veľa zariadení vybavených magnetrónovými naprašovacími terčíkmi aj viacoblúkovými terčmi a výber napájania predpätia by mal byť určený požiadavkami prevádzky viacerých jednotiek. Skoré predpätie bolo hlavne jednosmerné predpätie s tyristorovou technológiou a teraz je to väčšinou unipolárne, jednosmerne superponované impulzné a bipolárne impulzné predpätie vyrábané technológiou vysokofrekvenčného meniča. Predpínacie napájanie sa používa hlavne na čistenie žiarou v procese viacoblúkového iónového a magnetrónového naprašovania, bombardovania iónmi a nanášania filmu, aby sa aplikoval predpínací tlak na pokovovaný obrobok a vytvoril sa žiar počas čistenia žiarom. Pri iónovom bombardovaní používanom na urýchlenie iónov, zlepšenie energie bombardovania iónmi do povrchu obrobku, na dosiahnutie účelu čistenia rozprašovaním a zlepšenie väzbovej sily filmu, pri nanášaní filmu sa tiež používa na zvýšenie energie iónov podporí a zlepší rast filmu, zlepší aj väzbovú silu filmu, je tu niekoľko bežných tvarov vlny predpätia: unipolárne pulzné predpätie hlavné vlastnosti 1. Vysokofrekvenčný unipolárny pulzný predpätý tlak na obrobok v porovnaní s jednosmerným prúdom zaujatosť, kvôli medzere prerušenia napätia, môže účinne znížiť počet zapálení, chrániť povrch obrobku. 2. Počas pulzovej medzery môže byť nahromadený náboj na povrchu obrobku neutralizovaný, čím sa zníži vznietenie spôsobené nahromadením povrchového náboja. 3. Schopnosť rýchleho vypnutia technológie vysokofrekvenčného meniča môže účinne znížiť energiu uvoľnenú každou iskrou, aj keď sa iskra objaví, môže výrazne znížiť stupeň veľkého poškodenia povrchu obrobku. 4. Energia iónov uložená na povrchu obrobku počas pulzovej medzery je veľmi nízka. 5. Rýchlosť a kvalitu vytvárania filmu možno zlepšiť a kontrolovať úpravou frekvencie a pracovného cyklu. Hlavné vlastnosti jednosmerného superponovaného pulzného predpätia napájania 1. Má všetky vlastnosti unipolárneho pulzného predpätia napájania. 2. V jednosmernom a jednosmernom superponovanom pulznom režime je eliminovaný problém nízkej energie iónov medzi unipolárnymi pulznými medzerami. Funkcia záporného impulzu je rovnaká ako funkcia unipolárneho impulzného predpätia a funkcia kladného impulzu je hlavne priťahovať elektróny v plazme, aby sa neutralizovala akumulácia kladného náboja na povrchu obrobku. Pretože hmotnosť elektrónu je oveľa menšia ako hmotnosť iónu, zrýchlenie je ľahké, takže amplitúda pozitívneho impulzu je oveľa menšia ako amplitúda negatívneho impulzu, zvyčajne 10 ~ 100 V, a prúdový integrál kladného a záporného impulzu impulzy by mali byť rovnaké. Výkon kladného napájacieho zdroja je teda oveľa menší ako výkon záporného napájacieho zdroja. 2. Keď je kladné napájacie napätie nulové, bipolárne skreslenie impulzov sa zmení na unipolárne predpätie impulzov.

Spoločnosť IKS PVD, stroj na dekoratívny náter, stroj na poťahovanie nástrojov, stroj na poťahovanie DLC, stroj na optické poťahovanie, linka na vákuové poťahovanie PVD, projekt na kľúč je k dispozícii. Kontaktujte nás teraz, e-mail: iks.pvd@foxmail.com