Charakteristika a klasifikácia ultra vysokých vákuových jednotiek

C charakterizácia a klasifikácia jednotiek ultra vysokého podtlaku

IKS PVD, PVD výroba vákuových náterových hmôt, kontaktujte nás teraz, iks.pvd @ foxmail.com, získať viac informácií o nástrekovom stroji.

Jednotky ultra vysokého podtlaku pracujúce na viac ako 10 ^-5 pa majú difúzne čerpadlo, jednotky ultra vysokého podtlaku molekulárnej pumpy a jednotky ultra vysokého podtlaku bez oleja. Jednotky majú nasledujúce charakteristiky:

1. vysoký konečný stupeň vákua hlavného čerpadla, 10 ^-7 ~ 10 ^-8 pa vyššie;

2. Dokáže odolávať vysokej teplote pri pečení 200 až 450 ° C ;

3. Parciálny tlak spätného prúdu v hlavnom čerpadle je veľmi nízky;

4. pre selektívnosť čerpania plynu hlavného čerpadla musí byť vybavená dostatočne veľkým pomocným čerpadlom;

5. Požiadavky na vákuovú komoru, potrubie, ventil a ostatné komponenty výstupnej rýchlosti materiálu sú veľmi nízke, miera úniku je veľmi malá.

(1) Ultra vysoká vákuová jednotka difúzneho čerpadla

Difúzne čerpadlo ako prioritné čerpadlo v konečnej vákuovej jednotke, ultra vysoký stupeň vákua je 10-7 ~ 10-8 pa.

Znížiť z difúzneho čerpadla pred úrovňou difúzie plynu a zablokovať antidifúzny efekt mechanického čerpadla na konečný vákuum, ale pred úrovňou difúzneho čerpadla malú rýchlosť čerpania difúzneho čerpadla, aby sa znížil kompresný pomer, znížte difúzia Rovnako ako pri vstupe do difúzneho čerpadla, pridanie sublimácie titánu, ktoré je vyššie, môže ďalej znižovať parciálny tlak dusíka z difúzneho čerpadla, môže získať 10 až 11 Pa ultra vysokého vákua .

(2) Molekulárne čerpadlo s ultra vysokou vakuovou jednotkou

Extrémne podtlaková jednotka s molekulárnym čerpadlom ako hlavným čerpadlom má maximálny stupeň vákua 10-8 Pa, čo sa vyznačuje rýchlym spustením a malým znečistením ropou. Navyše môže byť k jednotke pridaná chladiaca studňa kvapalného dusíka na zvýšenie rýchlosti čerpania. Na výstupe z mechanického čerpadla je možné nastaviť studenú studňu, aby sa zabránilo vniknutiu olejových pár do systému .

(3) Ultra vysoká vákuová jednotka bez oleja

Vákuové jednotky, ktoré nepoužívajú olej ako pracovnú kvapalinu a nie sú utesnené organickými materiálmi, sú známe ako hlavné čerpadlá, ktoré sa bežne používajú v ultraľahkých vysokotlakových jednotkách bez obsahu oleja, ako sú kryogénne čerpadlá, titánové čerpadlá, čerpadlá s rozprašovacími iónmi atď. ktorý môže dosiahnuť konečný stupeň vákua 10 až ⁷ až 10 ^-8 pa. V porovnaní s vákuovými jednotkami obsahujúcimi olej má tieto výhody:

1) je možné získať čisté vákuum bez zdrojov znečistenia;

2) Po spustení bezolejového vákuového čerpadla je možné izolovať predčerpávacie čerpadlo;

3) Ak sa čerpanie zastaví náhle, systém nebude znečistený;

4) Žiadny olej, žiadne vibrácie, zlepšenie pracovného prostredia;

5) Vysoký limit vákua, vysoká rýchlosť čerpania, krátka doba čerpania.