Odplynenie vysokého vákua, ultravysokého vákua a extrémne vysokého vákua

Odplynenie vysokého vákua, ultravysokého vákua a extrémne vysokého vákua

V prípade vysokého vákua, ultravysokého vákua a extrémne vysokého vákua je najdôležitejším príspevkom k dekompresii (a retencii vákua) odplynenie. Odplynenie je hlavným problémom v systémoch vysokého vákua, ultravysokého vákua a extrémne vysokého vákua a je výsledkom desorpcie predtým adsorbovaných molekúl vonkajšou difúziou, infiltráciou a odparovaním cez dutinu. Odplynenie môže pochádzať z dvoch zdrojov: povrchu a základného materiálu. Výberom materiálov s nízkym tlakom pár pre všetky komponenty vo vnútri systému, ako je sklo, nehrdzavejúca oceľ a keramika, možno minimalizovať odplyňovanie spôsobené vyparovaním základného materiálu. Materiály, ktoré sa bežne nepovažujú za inhalačné, môžu mať v skutočnosti veľké množstvo vetrania, vrátane väčšiny plastov a určitých kovov, ako sú nádoby vyložené vysoko priepustnými materiálmi (ako je paládium), ktoré môžu spôsobiť svoje vlastné jedinečné problémy s odvetrávaním. Mnoho bežných materiálov môže v dôsledku vysokého tlaku pár alebo silnej absorpcie viesť k následnému odplynovaniu alebo vysokej priepustnosti pri tlakových rozdieloch (napríklad vetranie), takže aj keď tento materiál skutočne potrebujete použiť, mali by ste ho použiť ako čo najmenej. Väčšinu organických zlúčenín nemožno použiť. Hoci mnohí ľudia považujú za samozrejmosť, že oceľ je vhodná, nemusí to tak byť. Pretože oxidácia uhlíkovej ocele značne zväčšuje jej adsorpčnú plochu, možno použiť iba nehrdzavejúcu oceľ. Najmä druhy austenitických ocelí bez obsahu olova a síry, ako je nehrdzavejúca oceľ 304 a nehrdzavejúca oceľ 316, obsahujú najmenej 18 % chrómu a 8 % niklu. Ďalšie vhodné varianty nehrdzavejúcej ocele zahŕňajú nehrdzavejúce ocele obsahujúce prísady ako niób a molybdén, ktoré znižujú tvorbu karbidu chrómu. Aj keď sa nameraná rýchlosť plynu značne líši od materiálu k materiálu, táto rýchlosť plynu závisí aj od rýchlosti čerpania čerpadla, času potrebného na evakuáciu komory, teploty systému a spodného tlaku, ktorý sa má dosiahnuť. Na ilustráciu dôležitosti vetrania v rozsahu vysokého vákua, ultravysokého vákua a extrémne vysokého vákua stojí za zváženie, že 1 z každých 500 molekúl pripojených k stenám systému sa môže voľne pohybovať v systéme pri tlaku {{ 12} mbar. To zdôrazňuje skutočnosť, že na tejto úrovni je tlak určený množstvom plynu na povrchu systému. To vysvetľuje, prečo sa v tomto vákuu často používa zariadenie na analýzu povrchu.

Spoločnosť IKS PVD, stroj na dekoratívny náter, stroj na poťahovanie nástrojov, stroj na poťahovanie DLC, stroj na optické poťahovanie, linka na vákuové poťahovanie PVD, projekt na kľúč je k dispozícii. Kontaktujte nás teraz, e-mail: iks.pvd@foxmail.com