Charakteristiky depozície elementárneho terča a terča zo zliatiny

Depozičné charakteristiky elementárneho terča a zliatinového terča

(Cr,Ti,Al)N kvartérne povlaky možno pripraviť buď spoločným naprašovaním viacerých elementárnych terčov alebo priamym naprašovaním terčov z viaczložkových zliatin. Výhodou viacnásobných elementárnych terčov nanesených (Cr,Ti,Al) N povlakov spoločným naprašovaním je, že každý terč je na sebe nezávislý a obsah Cr,Ti a Al kovových prvkov v povlakoch môže byť nezávisle kontrolovaný cieľový prúd alebo cieľový výkon [21], čím sa získajú (Cr,Ti,Al) N povlaky rôznych pomerov zloženia [53]. Má zjavné výhody pri príprave viacvrstvového filmu a zmiešaného filmu. Nevýhodou tejto metódy je, že existuje veľa nastaviteľných parametrov, viaccieľová recyklácia vedie k nerovnomernému zloženiu povlaku a stechiometrický pomer prvkov v povlaku (Cr,Ti,Al) N nie je možné presne kontrolovať [54]. Použitím kvartérneho povlaku zliatinového terča (Cr,Ti,Al) N je ovládanie parametrov relatívne jednoduché a pomer zloženia povlaku je vo všeobecnosti blízky pomeru zloženia použitého terča zliatiny [55], takže je jednoduchšie získať kvartérny povlak (Cr,Ti,Al)N s jednotným zložením. Avšak kvôli rôznym výťažkom naprašovania každého prvku tvoriaceho zliatinový terč počas procesu naprašovania vzniká problém výberu naprašovania rôznych prvkov, takže pomer zloženia povlaku je stále odlišný od pomeru zloženia zliatinového terča [56] . V súčasnosti sú pri štúdiu prípravy (Cr,Ti,Al) N kvartérnych povlakov magnetrónovým naprašovaním bežnejšími zliatinovými terčíkmi AlTi terč a AlCr terčík.

Spoločnosť IKS PVD, stroj na dekoratívny náter, stroj na poťahovanie nástrojov, stroj na poťahovanie DLC, stroj na optické poťahovanie, linka na vákuové poťahovanie PVD, projekt na kľúč je k dispozícii. Kontaktujte nás teraz, e-mail: iks.pvd@foxmail.com