Podrobná štruktúra vákuového nanášacieho stroja

Podrobná štruktúra vákuového nanášacieho stroja

Vysokotlakový povlakovací stroj, pokovovací stroj je najpoužívanejším zariadením pri výrobe vákuových podmienok. Súvisiace komponenty: mechanické čerpadlo, pomocné čerpadlo, olejové difúzne čerpadlo, kondenzačné čerpadlo, vákuový merací systém.

V nasledujúcom texte podrobne uvádzam zloženie a princíp práce každej časti.

1. Vákuové teleso - vákuová komora

Podľa rôznych požiadaviek na spracovanie výrobkov nie je veľkosť vákuovej dutiny rovnaká, najčastejšie sa používa v súčasnosti 1,3M, 0,9M, 1,5M, 1,8M, atď., Dutina z materiálu z nehrdzavejúcej ocele, nie hrdza, tuhá, atď., každá časť vákuovej dutiny má pripojovací ventil, ktorý sa používa na pripojenie čerpadla.

2. Pomocný čerpací systém

Výfukový systém sa skladá z "difúznej pumpy + mechanické čerpadlo + korene čerpadlo + nízkoteplotný studený pas + polycold"

Prietok výfukových plynov je nasledovný: mechanické čerpadlo najprv pumpuje vákuovú komoru do stavu s nízkym podtlakom menším ako 2,0 x 10-2pa, čo poskytuje predpoklad pre difúzne čerpadlo, aby pumpovalo vákuum. Neskôr, keď difúzne čerpadlo čerpá vákuovú komoru, mechanické čerpadlo a olejové difúzne čerpadlo tvoria sériu na dokončenie čerpacej činnosti týmto spôsobom.

Výfukový systém je dôležitou súčasťou vákuového systému nanášacieho stroja. Skladá sa hlavne z mechanického čerpadla, pomocného čerpadla (hlavne zavedené koreňové čerpadlo) a olejového difúzneho čerpadla.

Mechanické čerpadlo: známe aj ako predné čerpadlo, mechanické čerpadlo je jedným z najpoužívanejších čerpadiel s nízkym podtlakom, je to olej na udržanie tesniaceho účinku a spoliehanie sa na mechanické metódy, ktoré neustále menia objem sacieho otvoru v čerpadle, tak, aby sa objem plynu v prečerpávanej nádobe neustále rozširoval, aby sa dosiahlo vákuum.

Existuje mnoho druhov mechanických čerpadiel, bežne používané majú posuvné ventily typu (to sa používa hlavne vo veľkých zariadeniach), piestové piestové, pevné a rotačné typ lopatky (to je v súčasnej dobe najpoužívanejší, tento papier hlavne predstavil) štyri typy.

Mechanické čerpadlo sa často používa na odstránenie suchého vzduchu, ale nemôže odstrániť obsah kyslíka je príliš vysoká, výbušné a korozívne plyn, mechanické čerpadlo sa všeobecne používa na odstránenie trvalého plynu, ale žiadny dobrý vplyv na vodný plyn, takže nemôže byť odstránená voda plyn. Čerpadlo rotačnej lopatky zohráva hlavnú úlohu v častiach statora, rotora, šrapnela, atď., Rotora v statore, ale odlišnom od statorových tŕňov, ako sú napríklad dva vpísané kruhy, drážka rotora s dvomi kusmi šrapnel, dva kusy šrapnelu s pružinou uprostred, aby sa zabezpečilo, že šrapnel pevne prilepí na stenu statora.

Jeho dva šrapnelky striedavo hrajú dve úlohy, na jednej strane od prívodu vzduchu do plynu, na druhej strane sú stlačené do plynového, plynového výtlačného čerpadla. Každá rotácia rotora, čerpadlo dokončilo dva sacie a dva výfukové plyny. Keď čerpadlo kontinuálne otáča v smere hodinových ručičiek, rotačné lopatkové čerpadlo kontinuálne prechádza cez nasávací plyn nasávaného vzduchu a kontinuálne od výfukových výfukov mimo čerpadla, aby sa dosiahol účel čerpania nádoby. Aby sa zlepšilo limitné vákuové čerpadlo, stator čerpadla nasiaknutý olejom, a všade vo voľnom priestore škodlivého priestoru často udržujú dostatok oleja vo vnútri, vyplňte medzeru, takže olejové mazanie na jednej strane na strane druhej a tesnenie a medzera v zástrčke a škodlivý účinok priestoru zabraňujú spätnému prúdeniu molekuly plynu cez rôzne kanály do nízkeho tlaku v priestore.

Mechanické čerpadlo začína z atmosféry práce, jeho hlavný parameter má limitné vákuum, rýchlosť čerpania, to pre návrh a vyberá mechanické čerpadlo dôležité. Jednostupňové čerpadlo môže čerpať nádobu z atmosféry do limitu vákua 1,0 * 10-1pa, dvojstupňové mechanické čerpadlo môže čerpať kontajner z atmosféry na 6,7 * 10-2 pa, alebo dokonca vyššie.

Rýchlosť extrakcie sa vzťahuje na objem plynu, ktorý sa môže vypustiť za jednotku času, keď rotačné lopatkové čerpadlo pracuje podľa menovitého počtu otáčok, ktoré možno vypočítať podľa nasledujúceho vzorca:

Tá = 2nVs = 2nfsL

Fs predstavuje prierezovú plochu priestorovej časovej dutiny na konci inspirácie, L predstavuje dĺžku dutiny, koeficient predstavuje výfukový proces rotora dvakrát každý rotačný cyklus, Vs znamená koniec inšpirácie, keď rotor je v horizontálnej polohe, objem v časopriestore je najväčší a rýchlosť otáčania je n.

Účinok mechanického výfukového čerpadla s rýchlosťou motora a voľnosť pásov majú vzťah, keď je pás motora uvoľnený, rýchlosť motora je pomalá, účinok mechanického výfukového čerpadla sa zhoršuje, takže sa často udržiava. , Tiež je potrebné často kontrolovať mechanické čerpadlo olejové tesnenie, olej je príliš málo, nemôže splniť tesniaci účinok, vo vnútri čerpadla úniku, olej príliš veľa, sací otvor upchávky, inšpirácie a výfuku, všeobecne, 0,5 cm v hladine oleja v offline.

Turbo čerpadlo / korene čerpadlo: to má mať pár synchrónnych vysokorýchlostné rotujúce dvojité krídlo tvaru alebo laloku rotora mechanické čerpadlo, pretože to funguje rovnako ako dúchadlo korene, tak tiež môže volať korene vákuové čerpadlo, čerpadlo v rozsah 100-1 mpa tlaku extrakčnej rýchlosti veľmi, to robí pre mechanické čerpadlo výfukové schopnosti nedostatočné nedostatky v tomto rozsahu, čerpadlo nemôže začať pracovať z atmosféry, nemajú priame vypúšťanie atmosféry, jeho úlohou je len zvyšovanie diferenčného tlaku medzi vstupom a výstupom, zvyšok mechanického čerpadla je potrebné dokončiť, preto sa musí zhodovať s mechanickým čerpadlom ako podkladovým čerpadlom.

Mechanické čerpadlo pri používaní procesu musí venovať pozornosť nasledujúcim otázkam:

1, mechanické čerpadlo má byť inštalované na čistom a suchom mieste.

2, čerpadlo samo o sebe udržiavať čisté a suché, čerpadlo olej má tesnenie a mazanie, takže je potrebné pridať v súlade s uvedeným množstvom.

3, aby pravidelne nahrádzali olej v čerpadle, náhrada by mala byť vypustená pred odpadovým olejom, raz za tri mesiace až šesť mesiacov.

4. Pripojte vodiče podľa pokynov.

5, predtým, ako mechanické čerpadlo zastaví prácu na uzavretí sacieho ventilu, potom výpadku prúdu a otvorte vzduchový ventil, vzduch do čerpadla cez vstup.

6, počas práce čerpadla, teplota oleja nesmie prekročiť 75 stupňov Celzia, inak viskozita oleja je príliš malá a vedie k laxnému utesneniu.

7, alebo skontrolujte tesnosť mechanického pásu čerpadla, otáčky motora, rýchlosť motora čerpadla koreňa a tesniaci účinok tesniaceho krúžku.

Olejové difúzne čerpadlo: limitné vákuum mechanického čerpadla je iba 10-2 pa, pri dosiahnutí 10-1 pa, skutočná rýchlosť čerpania je iba 1/10 teórie, ak chcete získať vysoké vákuum, musíte použiť olejovú difúziu čerpadlo.

Vzhľadom k tomu, olejové difúzne čerpadlo je prvé čerpadlo používané na získanie vysokého vákua, je lacné, ľahko sa udržiava a široko používa, takže tento dokument sa zameria na diskusiu.

Olejové difúzne čerpadlo rozsah aplikačného tlaku je 10-1 -10-7 pa, je to použitie fenoménu difúzie plynu do výfuku, má jednoduchú štruktúru, ľahko ovládateľný, rýchlosť čerpania je veľká (najvyššia môže dosiahnuť 10 + 5 l / s) a iné charakteristiky. Čerpadlo na difúziu oleja pozostáva hlavne z plášťa čerpadla, dýzy, odvzdušňovacieho potrubia a ohrievača. Olejové difúzne čerpadlo (d-704 # v Japonsku) sa pridáva hlavne do vnútra. Podľa počtu trysiek sa dá rozdeliť na jednostupňové čerpadlo a viacstupňové čerpadlo.

V spodnej časti difúzneho čerpadla je uložený olej difúzneho čerpadla. Horná časť je prívod vzduchu a spodná časť na pravej strane je výstup vzduchu. Počas prevádzky je výstup vzduchu opatrený tlakom predpätia mechanickým čerpadlom a mechanickým čerpadlom ACTS ako predradeným čerpadlom.

Keď sa olej difúzneho čerpadla ohrieva elektrickou pecou, produkované olejové výpary poskytujú tlak predpätia a mechanické čerpadlo ACTS ako predbežné plniace čerpadlo. Keď sa olej difúznej pumpy zahrieva elektrickou pecou, olejové výpary sú emitované dolu cez dáždnikovú dýzu. Pretože mechanické čerpadlo je mimo dýzy vytvorené vákuum s tlakom 1 - 10 - 1 Pa, môže sa olejová para uvoľňovať na určitú vzdialenosť, čím sa vytvára prúd prúdu v smere výstupu vzduchu. Nakoniec sa prúd stretáva so stenou čerpadla ochladenou chladiacou vodou, kondenzuje do kvapaliny a prúdi späť do výparníka, tj odparuje, prúdi, kondenzuje a opakovane cirkuluje, aby sa uskutočnilo odsávanie vzduchu.

Molekuly plynu v prívode vzduchu do čerpadla, akonáhle spadli do prietoku pary, klesajú hybnosť pohybu nadol, kvôli prúdu s vysokou rýchlosťou (200 m / SEC), vysokou hustotou pary a difúzne čerpadlo olej s vysokou molekulovou hmotnosťou (300-500), môže účinne odoberať molekuly plynu, takže v rámci rozhrania prúdu sa molekuly plynu nedajú splietať po dlhú dobu a prúdenie prúdu na oboch stranách rozhrania , je koncentrácia dymového plynu veľmi zlá, len preto, že tento rozdiel koncentrácie na rozhraní pôsobenia difúzie dymového plynu do prúdu bol odvádzaný na výstup a na výstupe mechanickým čerpadlom.

Tlak pary oleja difúzneho čerpadla je dôležitým faktorom na určenie maximálneho podtlaku čerpadla.

Difúzne čerpadlo nie je možné použiť len na čerpanie, všeobecné požiadavky na maximálny výstupný tlak čerpadla sú 40 Pa. Výhry čerpania difúznej pumpy sú naplánované pre prvú úroveň dýzy a teleso čerpadla s priemerom vstupu, pričom veľkosť kruhovej oblasti medzi rýchlosťami čerpania nie je konštantná, ale mení sa s tlakom na vstupe vzduchu, keď tlak v 2 ~ 10 -10-3, rýchlosť nasávania difúzneho čerpadla je najrýchlejšia, keď je tlak nižší ako 5 * 10-4 mpa, minimálna rýchlosť nasávania difúzneho čerpadla, takmer žiadny sací výkon (v tomto bode je vstupný tlak vyšší, kvôli jeho vysoká hustota vzduchu, aby sa parný rozdeľovač stal vysokorýchlostným prúdom, ktorý blokuje difúziu vzduchu, takže sa rýchlosť čerpania zníži).

Difúzne čerpadlo by malo byť pred inštaláciou vyčistené a potom môže byť naložený difúzny olej. Pred tým, ako sa olej zohreje, musí sa čerpadlo najprv vysať a olej z difúzneho čerpadla sa musí pred odstavením stroja ochladiť na 60 - 70 stupňov Celzia. Potom sa môže predný výfukový plyn uzatvoriť a nakoniec sa môže uzavrieť chladiaca voda.

Pretože olejové difúzne čerpadlo nie je schopné ukončiť ropnú šancu, takže neexistuje žiadny spôsob, ako zaručiť presné výrobky 100% čisté, najmä v priemysle výroby polovodičov, takže existuje "vysokotlakové kondenzačné čerpadlo + mechanické vákuové čerpadlo" bezolejový vákuový systém, ktorý sa skladá z výfukového systému kondenzátneho čerpadla zloženého nielen z účinnosti výfukového plynu, je veľmi vysoký a účinne zaručuje čistotu vákuovej komory, zabezpečuje kvalitu produktu (aby sa zabránilo kontaminovaným produktom, zlepšila sa priľnavosť medzi nátermi) a substrát), ale jeho náklady na údržbu sú veľmi vysoké, drahé, takže pri penetrácii nedochádza k širokému rozšíreniu čerpadla.

Nízkoteplotné kondenzačné čerpadlo: je to druh čerpadla, ktoré kondenzuje molekuly plynu na povrchu nízkej teploty, aby sa realizovalo čerpanie.

Pracovný princíp kondenzačného čerpadla: ide najmä o kondenzáciu, zachytávanie za studena a fyzikálnu adsorpciu pri nízkej teplote na nízkoteplotnej ploche.

Kryogénna kondenzácia: hélium kvapalného hélia alebo chladiaceho cyklu sa používa na chladenie podľa vlastností rôznych plynov.

Zachytenie za studena: je to fenomén, že nekondenzovateľný plyn je zachytávaný kondenzovateľným plynom. Zvyčajne plyny, ako je oxid uhličitý, vodná para, dusík a stlačený plyn, tvoria najprv mráz a potom vytvárajú na nízkoteplotnom povrchu adsorpčnú vrstvu, aby sa dosiahol účel adsorpcie iných plynov. To je dôvod, prečo je účinok kryogénneho čerpadla pri odstraňovaní zmiešaného plynu lepší ako účinok jednotlivého plynu.

Adsorpcia pri nízkej teplote: znamená adsorpciu plynu adsorbentom na povrchu s nízkou teplotou. Vďaka silnej interakcii medzi molekulami adsorbentu a plynu môže byť tlak pary nižší ako tlak nasýtených pár pri povrchovej teplote kondenzácie. Adsorbentom je zvyčajne aktívne uhlie.

Rýchlosť čerpania kondenzačného čerpadla a rýchlosť čerpania kondenzačného čerpadla súvisia s veľkosťou kondenzačnej plochy. Podľa údajov je rýchlosť čerpania na jednotku kondenzačnej plochy 11,6 l / s. Okrem toho má adsorpčná povrchová geometria a umiestnenie aktívneho uhlia, štruktúry častíc aktívneho uhlia, spojovacích materiálov a procesu spájania veľký vplyv na rýchlosť čerpania. Po druhé, kľúčom je chladiaca kapacita chladničky dostatočne veľká .

Vákuomer: vákuum je dôležitou súčasťou vákuového nanášacieho stroja, je to dôležitý prostriedok na testovanie stupňa vákua nanášacieho stroja. Vákuum sa dá rozdeliť na absolútny vákuum a relatívny vákuum podľa svojho pracovného princípu. Absolútny vákuum môže priamo merať úroveň tlaku, zatiaľ čo relatívny vákuum môže merať iba nepriamo stupeň vákua.

Tento dokument uvádza najmä nasledujúce vákuové meradlá bežne používané v povlakovacom stroji:

Odporový vákuový obrys (tiež známy ako pirani vákuum):

Skladá sa hlavne z elektrického vykurovacieho drôtu, plášťa a konzoly, hlavne na základe nízkeho tlaku, tepelná vodivosť plynu je úmerná tlaku na ceste do práce. Vyššie uvedený otvor je spojený s testovaným vákuovým systémom. Horúci drôt je vyrobený z kovového drôtu s vysokou odolnosťou voči teplotným koeficientom. Obidva podporné vodiče sú spojené s meracím vedením. Keď tlak klesá, teplo stratené vedením tepla sa znižuje. Preto, keď je vykurovací prúd horúceho drôtu stabilný, teplota horúceho drôtu stúpa a odpor horúceho drôtu sa zvyšuje. Tlak sa nepriamo meria meraním odporu horúceho drôtu.

Toto je pracovný princíp odporového vákuového meradla, merací rozsah podtlakového meradla je: medzi 100-10-1 mpa, sú v súčasnosti používané modely WP - 02 .

Magneticky riadený prietokomer:

Ako to funguje: na začiatku výboja, pretože priestor, voľné elektróny z pohybu anódy pod vplyvom ortogonálneho elektromagnetického poľa, elektrónová trajektória nie je priamka, ale špirála, a pretože anóda je rám, tak elektronický po prvýkrát sa anóda nesplnila, ale cez anódu a odmietnutie katódou a po návrate. To sa môže na anóde mnohokrát opakovať. Keďže dráha elektrónov je značne predĺžená, počet molekúl, ktoré sa zrážajú a ionizujú, sa zvyšuje, takže výboj (tiež nazývaný vypaľovanie) sa udržiava pri relatívne nízkom tlaku (pod 10-4 Pa).

V súčasnosti obsahuje viac modelov PKR251 a gi-pary.

Výtlačné trubice vákuové meradlo: dve kovové elektródy sú utesnené v sklenenej trubici, a vysoké jednosmerné napätie niekoľko tisíc voltov je pridaný na to. Samostatné vybíjanie môže byť spôsobené v určitom rozsahu tlakov (1 * 10-3 ~ 2 * 10 konzol). Stupeň vákua môže byť určený farbou výboja.

Doteraz bol tento druh vákuového meradla zriedka používaný kvôli jeho veľkým chybám, ľahkému poškodeniu a krátkej životnosti.

3. Systém odparovania

Systém odparovania sa týka hlavne zariadenia na vytváranie filmu. V nanášacom stroji je mnoho zariadení na vytváranie filmov, vrátane odporového ohrevu, vyparovania elektrónovým lúčom, magnetrónovým naprašovaním, vysokofrekvenčným naprašovaním, iónovým pokovovaním atď. Predstavím dve metódy odporového ohrevu a odparovania elektrónových zbraní, pretože tieto dve metódy používam viac.

Podľa jeho štruktúry a princípu fungovania je odporové odparovanie zďaleka najpoužívanejšou metódou odparovania a tiež najdlhšou dobou aplikácie. Spôsob, akým to funguje, je, že volfrám ako loď, a potom nainštalovaný uprostred dvoch elektród, uprostred volfrámu loď s bylinkami, opäť pomaly na elektródový prúd, prúd cez volfrám, volfrámové lodné elektrické vykurovanie, nízke napätie, vysoký prúd, aby volfrámové lode generovať teplo, vysoká teplota topenia a prenos tepla do materiálu náteru, keď množstvo tepla volfrámové lode je vyššia ako teplota topenia materiálu, sublimácia materiálu alebo odparovanie, táto metóda, pretože jednoduchá obsluha, jednoduchá konštrukcia, nízke náklady, takže je veľa použitého zariadenia, ale odparovanie tenkého filmu kvôli nízkej hustote, a veľa materiálu nemôže použiť túto cestu k odparovaniu, takže má určité obmedzenia. Volfrámový lodný odparovací náterový materiál, bod tavenia materiálu musí byť menší ako bod topenia volfrámového člna, inak neexistuje spôsob, ako ho uskutočniť.

Odparovanie elektrónovou pištoľou je doteraz najpoužívanejšou metódou odparovania. Môže odpariť akýkoľvek druh náterového materiálu. Jeho pracovný režim je: Náterový materiál v tégliku, zdroj odparovania do tvaru vlákna, pomocou špeciálnej riadiacej skrine, vlákno so silným prúdom, vysoké napätie, vďaka materiálu je volfrámové vlákno, takže to bude horúce, v koniec sa spustí elektronicky, a prijatie určitého magnetického poľa sa zhromaždí do určitého tvaru, a nakreslenie na tégliku, takto vytvoreného lúča, v dôsledku teploty elektrónov je veľmi vysoké, môže roztaviť všetky povlakové materiály, ako náterové materiály je po tavení elektrónového lúča (časť materiálu je priamo sublimovaná), liečivé byliny molekúl (atómov alebo iónov) vo vákuu do lineárneho pohybu, potom sa stretávajú so základnou doskou a potom kondenzujú, po tomto spôsobe rastu tvoria film ! Najčastejšie sa používa vychyľovací uhol elektrónového lúča do 270 stupňov, alebo elektronová elektrónová priamka s trajektóriou e alebo elektrónovým lúčom s trajektóriou 180 stupňov a elektrónovým delom typu c s trajektóriou c.

Najväčšou výhodou odparovania elektrónového lúča je: bod elektrónového lúča môže byť nastavený podľa želania, vlákno môže byť skryté, vyhnúť sa znečisteniu, môže sa odpariť akýkoľvek poťahový materiál, jednoduchá údržba, rýchlosť odparovania môže byť riadená podľa želania, malý rozklad materiálu , vysoká hustota filmu. Dobrá mechanická pevnosť .

Metóda rozprašovania je bombardovanie povrchu cieľového materiálu vysokorýchlostnými pozitívnymi iónmi. Prostredníctvom prenosu kinetickej energie majú molekuly (atómy) cieľového materiálu dostatok energie na únik z povrchu cieľového materiálu a potom koagulujú na povrchu produktu za vzniku filmu.

Film nanesený rozprašovacou metódou má silnú adhéziu a vysokú čistotu a súčasne môže rozprašovať rôzne materiály. Má však vysoké požiadavky na cieľový materiál a nemôže šetriť zdroje ako elektrónová pištoľ.

V súčasnosti je magnetronové naprašovanie najčastejšie používanou metódou. Magnetrónovým naprašovaním sa aplikuje zosilnené elektrické pole rovnobežne s povrchom katódy a obmedzujú elektróny v blízkosti povrchu katódového terča na zlepšenie účinnosti ionizácie. Je to najjednoduchší druh prevádzky, takže je široko používaný.

4. Riadiaci systém tvoriaci film

V súčasnosti existuje mnoho metód monitorovania filmov, ako je vizuálne monitorovanie, monitorovanie pevnej hodnoty, monitorovanie kryštálových oscilácií, monitorovanie času a tak ďalej. Zavádzam hlavne vizuálne monitorovanie, pevné (extrémne) monitorovanie a monitorovanie kryštálových oscilácií tri.

Vizuálne monitorovanie, tiež známy ako priame monitorovanie, je použitie monitorovania oka, pretože film v procese rastu, v dôsledku rušenia jav bude mať zmeny farieb, sme na základe zmeny farieb na kontrolu hrúbky filmu, to metóda má určitú chybu, takže to nie je príliš presné, musíme sa spoliehať na skúsenosti.

Monitorovanie pevnej hodnoty (extrémna hodnota): hlavne POUŽITIE optického monitorovania typu odrazu (cez typ). Metóda monitorovania extrémnej hodnoty: keď sa hrúbka filmu zvýši, jej odrazivosť a rýchlosť prieniku budú nasledovať po zmene, keď odrazivosť alebo miera penetrácie do krajného bodu, môžeme vedieť, že optická hrúbka povlaku ND je štvrtina monitorovacej vlnovej dĺžky ( do) celých čísel. Avšak chyba metódy extrémnej hodnoty je relatívne veľká, pretože keď sa odrazivosť alebo priepustnosť mení veľmi pomaly v blízkosti extrémnej hodnoty, to znamená, že hrúbka filmu ND rastie veľa, zmeny R / T. Citlivejšia pozícia je na jednej ôsmej vlnovej dĺžke.

Metóda monitorovania pevnej hodnoty: táto metóda POUŽÍVA bod zastavenia, aby sa nesledovala úroveň vlnovej dĺžky vo štvrtej vlne, a potom počítač vypočíta odrazivosť (alebo rýchlosť prieniku) celkovej hrúbky filmu pri vlnovej dĺžke, ktorou je dorazová vrstva. bod.

Monitorovanie kryštálových oscilácií:

Pracovným princípom kryštálovej oscilácie je, že frekvencia vibrácií kremenného kryštálu je nepriamo úmerná jeho hmotnosti. Jednou z nevýhod monitorovania kremeňa je však to, že keď sa hrúbka filmu zvýši na určitú hrúbku, frekvencia vibrácií nie je úplne spôsobená vlastnosťami samotného kremeňa, takže existuje lineárny vzťah medzi hrúbkou a frekvenciou.

Niekoľko monitorovacích metód má svoje vlastné výhody a nevýhody, ale väčšinou viacvrstvový povlak, optické monitorovanie bude hlavnou, osciláciou kremenného kryštálu ako pomocná metóda.

Okrem toho, pre niektoré v procese povliekania musia byť naplnené plynomerom na reguláciu prietoku alebo tlakomerom na reguláciu tlaku, ktoré musia používať sofistikované ventily a fotoelektrický systém na kontrolu.

V procese náteru tiež potrebujú rotačný riadiaci systém, je dať hlavný hriadeľ dáždnika v ložisku, a potom použiť motor na pohon ložiska, takže dáždnik rotačné. Potom PLC riadi svoju rýchlosť otáčania.

Otáčanie téglika je poháňané elektrickým motorom, je prijatá metóda fotoelektrického indukčného počítania a tieniaca doska je otáčaná pneumatickým spínačom.

Aby sa urýchlila extrakčná rýchlosť a dosiahol určitý stupeň vákua, musí byť vákuová komora tiež chladená, to znamená, že vzduch vo vnútri vákuovej komory je zmrazený na -130 stupňov Celzia a vodný vzduch vo vákuovej komore. sa zmrazí a odčerpá.

PLC automatické riadenie, elektrické ovládanie časť článku je prvý v PLC vstup design program vopred, hlavný obvod procesora pripojený k prázdnemu systému na ovládacom paneli, keď stlačte spínač na ovládacom paneli, prenos informácií do centrálnej spracovateľskou jednotkou (CPU), potom analýzou centrálneho riadiaceho systému a implementáciou a dokončením akcií pobočky vydaných pokynov.

Náter stroj je multi-disciplína zariadení, IT integruje priemysel je najmodernejšie mechanické a elektronické technológie, riadiace technológie, elektrická automatizácia, IT technológie, chladiace technológie, mikroobvod integrovaných systémov, vysokotlakové riadenie systému, strojné technológie, technológie spracovania, fotoelektrické technológie , optická technológia, technológia pneumatického riadenia, technológia fotoelektrického snímača, komunikačná technológia, vákuová technológia, technológia optických filmov a povlakov atď.

Možno povedať, že povliekací stroj je novým zástupcom priemyslu.

V súčasnej dobe bol povlak stroj široko používaný, pokovovanie film najmä široko, výroba rôznych druhov tenkých filmov bol aplikovaný na fotoelektrický systém a optické prístroje, ako sú digitálne fotoaparáty, digitálne fotoaparáty, ďalekohľady, projektor, riadenie energie, optické komunikácie, zobrazovacia technológia, interferometer, satelitné rakety, polovodičový laser, memy, informačný priemysel, výroba laserov, všetky druhy filtrov, svetelný priemysel, senzory, architektonické sklo, automobilový priemysel, dekorácie, MINCE, poháre, atď. úzko spojené s ľudským životom.

Náklady na dovážané náterové stroje zvyčajne dosahuje 3 milióny až 10 miliónov RMB, a náklady na domáce zariadenia je asi 1 milión RMB.

IKS PVD, môžeme ponúknuť nástroje náter stroj, dekoratívny náter stroj, optický náter stroj, kontaktujte nás teraz, iks.pvd@foxmail.com