Merací rozsah horúcej katódovej ionizačnej vákuovej meracej jednotky

Hoci rozsah merania vákuometra s horúcou katódou môže dosiahnuť 10-2~{1}} mbar, keď je tlak príliš vysoký, vzťah medzi prietokom častíc a tlakom sa bude líšiť od lineárneho a bude mať tendenciu k saturácii. Aby sa rozšíril rozsah merania, vákuomer Pirani sa zvyčajne používa na začiatku čerpadla (v prípade nadmerného tlaku).

Okrem toho je spodná hranica merania bežných vákuových meračov s horúcou katódou ionizácie približne 10-6Pa rádovo: Keď je hradlová anóda bombardovaná elektrónmi, generujú sa mäkké röntgenové lúče a fotoelektrónová emisia nastáva, keď ión kolektor prijíma tento lúč. Pretože fotón emitovaný kolektorom je ekvivalentný iónom, ktoré zbiera, v obvode iónového kolektora sa vytvára fotoprúd na pozadí nezávislý od tlaku, ktorý je pri meraní reprezentovaný údajom o tlaku približne 10-6Pa. Aby sa eliminoval vplyv fotoprúdu pozadia a rozšíril sa limit merania ionizačného vákuometra s horúcou katódou, ionizačného vákuometra BA (limit merania môže dosiahnuť 10-8Pa), supresívneho vákuometra (teoreticky môže dosiahnuť {{6} }Pa), modulovaný vákuomer (10-10Pa), oddelený vákuomer (10-11Pa) atď.

Spoločnosť IKS PVD, stroj na dekoratívny náter, stroj na poťahovanie nástrojov, stroj na poťahovanie DLC, stroj na optické poťahovanie, linka na vákuové poťahovanie PVD, projekt na kľúč je k dispozícii. Kontaktujte nás teraz, e-mail: iks.pvd@foxmail.com