Systémy riadenia plynu a prietoku PECVD
Jun 30, 2023| Zásobovanie plynom systému PECVD je takmer vždy zásobované plynovými fľašami, ktoré sú umiestnené v plynovej skrini s mnohými bezpečnostnými zariadeniami a privádzané do procesnej komory PECVD cez ovládací panel na plynovej skrini a potrubí.
Pri ukladaní množstvo reakčného plynu ovplyvní rýchlosť usadzovania a jeho rovnomernosť, takže je potrebné prísne kontrolovať prietok plynu a na dosiahnutie presnej kontroly sa zvyčajne používa hmotnostný prietokomer.
Spoločnosť IKS PVD, dekoratívny lakovací stroj, poťahovací stroj na nástroje, DLC lakovací stroj, optický lakovací stroj, PVD vákuová lakovacia linka, projekt na kľúč je k dispozícii. Kontaktujte nás teraz, e-mail: iks.pvd@foxmail.com
Zaslať požiadavku