Princíp a aplikácia zdroja Ilu Holl

Princíp a aplikácia zdroja iónov holl

Princíp práce s iónovým zdrojom

Typ zdroja iónov

Podľa iontovej energie je rozdelená na:

Vysoká energia 200 alebo vyššia, ako napríklad APS, RF, Kaufman ion Source;

Halónový zdroj pod nízkou energiou 200ev

Rozdelené podľa typu:

Typu Kaufman a Hall

Ako fungujú iónové zdroje

V skutočnom hustom prostredí sa plyn, ktorý sa naplní do vákuovej komory, odstráni použitím emitovaných elektrónov pri interakcii elektrických a magnetických polí a ióny sa emitujú pôsobením elektrických a magnetických polí.

Princíp konštrukcie zdroja halových iónov
komponenty:
Katóda - emituje elektróny
Anóda - produkuje ióny
Plynová cesta - poskytuje ionizovaný plyn
Napájanie

Štruktúra zdroja Hallových iónov

Štruktúra zdroja Kaufmanových iónov

Iónová energia zdroja iónov:

Zdroj rozdeleného kaufmanového iónu: je napätie medzi anódou a sieťou
Zdroj iónových iónov: 65-70% anódového napätia

IKS PVD ， IET náterové zariadenie, kontakt: iks.pvd@foxmail.com