PVD Návod na obsluhu vákuového nanášacieho stroja

PVD vákuové povlakovanie stroja

začínať

1. Skontrolujte, či je vodná cesta odblokovaná, a overte, či chladiaca veža a radikálové čerpadlo pracujú normálne (tlak vody by mal byť nad 0,4 MPa).

2. Skontrolujte, či je vzduchová dráha voľná a či vzduchový kompresor pracuje normálne (tlak vzduchu by mal dosiahnuť 0,5 MPa).

3. Zapnite hlavný vypínač, zapnite vypínač "spúšťania" a "udržiavajte čerpadlo", a keď je odčítanie termočlánku merača vákua pod 10pa, zapnite štyri spínače "regulátora teploty difúzneho čerpadla 1, 2 "a" difúzne čerpadlo 1, 2 ". To znamená, že sa difúzne čerpadlo zahrieva (asi 1 hodinu).

4. Po uplynutí doby ohrevu približne 10 minút spustite nízkoteplotný odlučovač. Po 6-minútovom čase ochladzovania stlačte F1, aby ste spustili nízkoteplotnú pascu. Keď sa dosiahne nastavená teplota na regulátore teploty, môže sa vykonať normálna prevádzka.

výroby a prevádzky

1. Uistite sa, že filmový materiál, vlákno zdroja iónov a rám obrobku vo vákuovej komore boli umiestnené podľa potreby.

2. Zapnite "hrubé čerpadlo", prepnite automatickú prevodovku odsávača vzduchu na automatickú prevodovku, zapnite spínač "automatického odsávania vzduchu" a počkajte, kým sa dvere vákuovej komory nezatvoria.

3. Keď sa automaticky spustí čerpadlo koreňov, stlačte nízkoteplotný uzáver "F2", aby sa spustila funkcia chladenia pasce.

4. Táto operácia by sa mala líšiť od tohto procesu a dochádza k významným zmenám, tu nie je podrobný opis, to znamená.

5. Proces je kompletný, zatvorte pištoľ, zdroj iónov (musí XianGui nulový vlákno tok energie, a potom zatvorte napájanie), ako je spínač, otvorte automatický spínač vzduchu, potom, čo bol jemný sací ventil uzavretý, automatické odsávanie ručný spínač do manuálu (tu okrem potrebného upozornenia na udržanie čerpadla, difúzneho čerpadla, čerpania, stlačenie štyroch spínacích spínačov, druhý nikdy nestlačí spínač, aby sa zabránilo chybe spôsobenej difúznym čerpadlom vystaveným atmosfére!) Stlačením tlačidla F3 zapnete funkciu návratu teploty. Keď teplota nízkoteplotného uzáveru stúpne na viac ako 30 stupňov Celzia, otvorte "plniaci ventil". Po otvorení dvierok vákuovej komory zatvorte "plniaci ventil". (poznámka: je prísne zakázané zamieňať "automatické odsávanie vzduchu" s prepínačom "automatického nabíjania vzduchu")

6. Vyššie uvedený cyklus je normálny prevádzkový proces.

zatvárať

1. Zatvorte dvierka vákuovej komory na určitý podtlak a zatvorte všetky spínače okrem spínača „stop“.

2. Napájací zdroj, vzduchový kompresor, chladiaca veža a radikálové čerpadlo sa môžu vypnúť až po ochladení vákuového nanášacieho stroja na jednu hodinu.

Poznámka: všetky vyššie uvedené operácie musia byť prísne vykonané a nemôžu byť zmenené bez povolenia. Ak je povlakovací stroj poškodený alebo ovplyvnený v dôsledku nesprávnej obsluhy, prevádzkovateľ bude niesť zodpovedajúcu zodpovednosť.

Upozornenie: v tomto stroji je veľa vysokonapäťových transformátorov, napätie je do 8KV, aby sa predišlo bezpečnostným nehodám, neotvárajte tieniace dvere pod elektrickou skrinkou a vákuovou komorou bez povolenia.

Poznámka: Vyššie uvedený návod na obsluhu nie je vhodný pre všetky PVD náterové stroje, ak máte akékoľvek otázky týkajúce sa PVD vákuovej náterovej technológie, kontaktujte IKS PVD, E-mail: iks.pvd@foxmail.com