Viaceré zdroje iónov bežne používané v povrchovej úprave

·         Viaceré zdroje iónov bežne používané v povrchovej úprave

Hoci existuje mnoho typov zdroj iónov, účelom je viac ako on-line čistenie, zlepšenie rozdelenia energie a modulácie na povrchu pokovovanie zvýšiť energiu reaktívny plyn. Iónový zdroj môže výrazne zlepšiť lepenie silu filmu a matrix, a tvrdosť a odolnosť proti opotrebeniu z samotný film sa dá zlepšiť aj. Ak odolnej vrstvy pokovovanie nástroj je všeobecne väčšie a rovnomernosť hrúbky filmu nie je potrebný vysoký, iónové zdroje s väčšie ion súčasných a vyššej energetickej hladiny je možné napríklad hala so zdrojom iónov alebo anóde iónový zdroj.

Anóde vrstvy iónový zdroj je podobná hall ion zdroj princíp. V úzkych kruhové (pravouhlého alebo kruhového) štrbinou zosilnené magnetické pole pôsobí ionizujú pracovného plynu podľa pôsobenia anódy a v smere obrobku. Anóde vrstvy iónový zdroj možno byť veľmi veľké a dlhé, zvlášť vhodný na lakovanie veľkých obrobkov napríklad stavebné sklo. Iontový prúd pre iónový zdroj anóde vrstvy je tiež veľká. Ale iontovej sa viac odlišností a distribúcia energetická hladina je príliš široký. Všeobecne použiteľné na veľkých obrobkov, sklo, opotrebenie, dekoratívne obrobkov. Ale aplikácia pokročilých optické povlak nie je príliš veľa.

Kaufman iónový zdroj je skorého uplatňovania iónový zdroj. Patrí k zdrojom iónov mriežky. Najprv katódu generuje plazmy v komore zdroj iónov a potom ióny sú extrahované z plazmy dutiny dva alebo tri anódy mriežky. Tento druh so zdrojom iónov má silné smerovosť a koncentrované ion energiu pásma, ktorú môže byť široko používaný v vákuové povlak. Nevýhodou je, že katódové (často volfrámu) rýchlo horí v reakčných plynov a že existujú limity na toku iontov, ktoré môžu byť nepríjemné pre užívateľov, ktorí potrebujú veľké iónových tokov.

Hala so zdrojom iónov je anóda silné axiálne magnetické pole pod spolupráce ionizáciu plynu proces. Nerovnomernosť tejto axiálne magnetického poľa oddeľuje plynový ióny a tvorí iónového lúča. Pretože axiálne magnetického poľa je príliš silný, sála ion zdroj iσnovιho lϊθa potrebuje doplniť elektróny neutralizovať iónových prúd. Spoločný zdroj neutralizácia je volfrámové vlákno (katóda).

Sála ion source funkcie:

1. jednoduchý a odolný;

2 ionizačnými prúd je takmer úmerná prietoku plynu a veľké iontový prúd možno získať;

3 volfrámové vlákno všeobecne rozkročí zásuvky a iónový lúč vplyv rýchlo je narušená, najmä pre reaktívne plyny, ktoré treba vymeniť do 10 hodín. A tam bude nejaký znečistenie z volfrámové vlákno. Vyriešiť chyby volfrámový drôt. Existuje dlhší život neutralizátory ako zdroj malé duté katódou.

Hala so zdrojom iónov je najpoužívanejší iónový zdroj.

Platné pre zdroje iónov IKS PVD.

Ak oteruvzdorný dekoračnou fóliou pokovovanie, hrúbka filmu a silné telo priľnavosť a jednotné požiadavky nie sú vysoké. Sála iónový zdroj je k dispozícii. Iontový prúd je veľké a ionic energetickej hladiny vysoká. Ak je potiahnutý optického filmu, hlavné podmienky pre iónový aktuálnej koncentrácie energie, iónový aktuálne jednotnosť. Preto je najlepšie používať Kaufman, alebo RF zdroj iónov a podmienené použitie Zb (elektrónové CYKLOTRÓNOVÉ) alebo ICP(induction coupling) iónov zdroja. Zvážte tiež spotrebný materiál, ako napríklad halogénové drôty, ktoré vyhorí v reakčných plynov v asi 10 hodín. Rozšírené zdroje iónov ako ICP môže pracovať nepretržite v reaktívne plyny na stovky hodín.

Obalené lampa hliník filmov. Keďže je kovový film, samozrejme, DC mení magnetrón prská je dobré. Rýchlosť je rýchly. Strednej frekvencie je vhodný na lakovanie kŕmnych film. Ak zvolíte zdroj iónov, iónový zdroj hall je dosť. Ale pozor na veľkosť svetelného zdroja. Vo všeobecnosti hala so zdrojom iónov je kruhový, oblasti so zdrojom iónov je obmedzená. Musí pokrývať všetky obrobkov s iónového lúča. Ak bežné hall ion zdroj je príliš malý, možno považovať za anóde vrstvy iónový zdroj. Jeden dôvod iónové zdroje nemajú žiara je, že magnetické pole je príliš slabý rozrušiť plazmy. Existuje mnoho druhov zdroje iónov, ale v podstate výrobu plazmy po prvé, a potom extrahovať iónov plynu z plazmy a urýchliť ich do jónu, potom výhľad dozadu vniesť elektrónov a iónov stream.