Štruktúra vákuového odporu (Pirani Vacuum Gauge)

Odporový snímač vákua, tiež známy ako meradlo Pirani, odráža zmeny tlaku na základe zmien odolnosti proti horúcim vláknom. Skladá sa hlavne z meracích a meracích obvodov. Rozsah merania je 104 až 10 Pa.

Štruktúra odporového obrysu je znázornená na obrázku 1. V plášti regulátora je zapuzdrená valcová špirálovitá horúca drôt s odporovým drôtom s vysokým teplotným koeficientom. Oba konce horúceho drôtu sú vedené z meracej trubice a pripojené meracie vedenie. Plášť meradla môže byť vyrobený z kovu alebo skla. Kovová škrupina má výhody trvanlivosti, pohodlného odstraňovania horúcich vlákien atď. Nevýhody sú zlé tesnenie a vysoká cena. Sklenená škrupina má výhody dobrého tesniaceho účinku a nízkej ceny a nevýhoda je, že je ľahko poškodená.

Koeficient odporovej teploty a odpor niektorých odporových drôtov, ktoré zohrievacie drôty sú znázornené v tabuľke 4-1, medzi ktorými sa bežne používajú volfrám, platina a nikel. Aby sa zabezpečila pracovná stabilita horúceho drôtu, okrem čistenia povrchu horúceho drôtu sa niekedy nanáša tenká vrstva skla, kremeňa alebo tantalu na povrch horúceho drôtu, aby sa zabránilo oxidácii alebo kontaminácii horúceho drôtu drôt, keď sa používa pod vysokým tlakom. Predpokladá sa však, že táto metóda zvýši tepelnú zotrvačnosť.

Kov: Tungsten Platinum Nikel Chróm Iridium Molybdén Železo Copper Silver

Teplota odporu

Koeficient v 0 ° C 4.82 3.9 6.0 2.5 4.1 4.71 6.0 4.3 4.29

(10 ^-3 ° C ^-1 )

Odolnosť v 0 ° C 5.1 9.2-9.6 6.84 12.9 4.85 5.71 9.7 1.67 1.59

px10 ^-8 (Ω · m)

Tabuľka 4-1 Koeficient teploty a odporu niektorých kovov