Najlepšie techniky detekcie úniku pre PVD náterový stroj

Detekcia metódou bubliny

Zariadenie na nanášanie PVD náterových bublín sa uprednostňuje pri PVD kontajneroch alebo zariadeniach, ktoré sa spracúvajú. Detekcia metódy bublinovej vrstvy PVD znamená plnenie testovanej časti určitým plynom indikujúcim netesnosť a potom vložiť testovanú časť do kvapaliny. Plyn vstupuje do obklopujúcej kvapaliny cez otvor na unikanie kvôli vytvoreniu bublín. A miesto, kde sú bubliny, je poloha únikového otvoru. Okrem toho môže byť rýchlosť úniku otvoru odhadnutá podľa rýchlosti tvorby a veľkosti bublín, ako aj fyzikálnych vlastností indikovaného plynu.

Detekcia metódy obalu

Detekcia metódy obalu sa vzťahuje na metódu pokrývajúcu celé zariadenie na poťahovanie PVD s etylénovým plastovým vreckom (kryt) a potom naplnenie vrecka héliom, to znamená, že celý podtlakový zásobník je ponorený do hélia na detekciu netesností. Po úplnom vyprázdnení plynu urobte hlavný ventil, drsný ventil a ventil tesnosti vypnite. Potom použite BA ionizačného vákuového snímača na meranie zmeny nárastu tlaku a zistite, či nedošlo k úniku.

PVD povlak je súčet nárastu tlaku v dôsledku úniku plynu a nárastu tlaku spôsobeného odplynením materiálu a napokon je to lineárny nárast, ktorý je úmerný času. Keď krivka potiahnutia PVD vykazuje taký stav, ako je opísané vyššie, znamená to, že zariadenie uniklo. Ak nedôjde k presakovaniu a len k odplyneniu materiálu, krivka by mala byť nasýtená. Ak dôjde iba k úniku bez odplynenia materiálu, je to priama čiara, ktorá je úmerná času na začiatku.