Príčina nerovnomernosti rozstrekovaného povlaku Magnetron

Bez ohľadu na to, aký druh vákuového kalibračného stroja bude jednotnosť povlakov ovplyvnená určitým faktorom.

Prevádzka vákuového nanášacieho stroja magnetrónového naprašovania má za následok, že elektróny bombardujú argónové ióny tvorené argónom a potom bombardujú terč ortogonálnym magnetickým poľom vo vákuovom stave a cieľové ióny sú uložené na povrchu obrobku na vytvorenie povlaku. Môžeme teda zvážiť, že vákuový stav, magnetické pole a argón sú tri aspekty, ktoré súvisia s jednotnosťou hrúbky filmu.

Podtlak je riadený systémom čerpania vzduchu. Každý čerpací otvor musí byť aktivovaný súčasne s konzistentnou pevnosťou, aby sa zabezpečila jednotnosť čerpania. Ak nie je čerpanie rovnomerné, tlak vo vákuovej komore nemôže byť rovnomerný, pretože tlak má určitý vplyv na pohyb iónov. Okrem toho musí byť kontrola doby čerpania. Príliš krátke bude spôsobovať nedostatočné vákuum, ale bude to strata zdrojov, ak je príliš dlhá. Existencia vákuových meradiel to však vyžaduje.

Magnetické pole funguje ortogonálne, ale nie je možné, aby intenzita magnetického poľa bola 100% jednotná. Vo všeobecnosti, kde je magnetické pole silné, hrúbka filmu bude veľká a naopak, takže hrúbka filmu bude nekonzistentná.

Rovnomernosť dodávania argónu tiež ovplyvňuje rovnomernosť vrstvy filmu. Princíp je podobný stupňu vákua. V dôsledku vstupu argónového plynu sa tlak vo vákuovej komore zodpovedajúcim spôsobom zmení. Rovnorodosť hrúbky filmu môže byť regulovaná jednotným tlakom.

Napriek tomu, že vždy existuje niekoľko faktorov, ktoré spôsobujú nerovnomernosť fólie, je miera priechodu fólie veľmi vysoká, ak sa vykonáva správna činnosť vákuového nanášacieho stroja.