Výber typu odsávacou jednotkou

1. zloženie a klasifikácie vákuové jednotiek

Vákuový prístroj sa obyčajne skladá z nasledovných komponentov: rôzne vývevy, vákuové meracie zariadenia, vákuové ventily, vákuové trubice a iné komponenty ako sú dúchadlá, vákuové kĺbov, plynové zásobníky, mechy, prachu, zberateľov a vákuové relé .

Podľa prevádzkového tlaku jednotky, sú drsné vákuové jednotky (> 1330Pa), nízke vákuové jednotiek (1330 ~ 0.13Pa), vysoko vákuové jednotiek (0,13 ~ 1,3 x 10-6Pa), ultra vysoké vákuum jednotky (1.3x10-6) ~1.3×10-11 Pa) a veľmi vysoká odsávacou jednotkou (<1.2×10-11>

2. nízka odsávacou jednotkou

Hlavné rysy nízke odsávacou jednotkou sú vysoký pracovný tlak a veľké posunutie, ale rýchlosť čerpania je nižšia ako u vysoko odsávacou jednotkou. To je väčšinou používaný na hrubé čerpanie vákuovej komory a niektorých vákuové jednotiek, ktoré potrebujú vysoký pracovný tlak ako vákuové vypúšťanie jednotky, jednotky vákuová impregnácia, vákuové filtračné jednotky vákuové odplynenie váukovej jednotky a tak ďalej. Hlavné čerpadlá nízke odsávacou jednotkou sú bežne piestové vákuové čerpadlá, olejové tesnenie vákuové čerpadlá, vodné čerpadlá, vodná para prúdové čerpadlá, vodné prsteň čerpadiel, olej par prúdové čerpadlá, molekulárnym adsorpcie čerpadlá a korene. Pri použití low-vákuové jednotky, je tiež potrebné nakonfigurovať komponenty ako zberač prachu a suchý filter podľa procesných požiadaviek stupeň čistoty a vlhkosti plynu byť čerpaná.

3. vysoká odsávacou jednotkou

3.1 vybrať hlavné čerpadlo. Hlavné čerpadlo môže byť difúznej pumpy, molekulárne čerpadla, prskať iónové pumpy, titán čerpadlo, kryogénne čerpadla a tak ďalej.

3.2 výber čerpadla a potrubia skladovanie plynu (nárazuvzdorný, skrátiť pracovný cyklus, zabrániť veľké množstvo vypúšťania do vákuovej komory a stabilizovať výstupný tlak difúznej pumpy)

4. extrémne vysoká odsávacou jednotkou

Maximálne vákuum hlavné čerpadlo je vysoká, úniku sadzba je nízka a je odolná voči pečenie pri 200-450° C.

4.1 diffusion čerpadla: zníženie spätnému toku a kontrole znečistenia.

4.2 molekulárnej čerpadla: kompresný pomer vodíka je malý a zvyškového plynu je hlavne vodík.

4.3 prskať ion čerpadla: zvyčajne používa v kombinácii s čerpadlom titánu.

4.4 kryogénne čerpadlo: bez znečistenia.