Typický typ vákuového systému
Jun 30, 2018| Systém, ktorý slúži na splnenie určitých požiadaviek procesu, schopný získať a merať špecifické požadované vákuum, sa nazýva vakuový systém. Kompletnejší vákuový systém pozostáva z vákuovej komory, požadovanej vákuovej pumpy alebo vákuovej jednotky, vákuového meracieho zariadenia, spojovacieho potrubia, vákuového ventilu, odlučovača a iných vákuových komponentov a elektrického riadiaceho systému. Typický vákuový systém je znázornený na obr. 1 a obr.
1. Odvzdušňovací ventil vákuovej komory 2. Ionizačný vákuový snímač 3. Termočlánkový vákuový ventil 4. Regulačný ventil prietoku
5. Vysokotlakový ventil 6. Difúzne čerpadlo 7. Zásobník plynu
8. Merací termočlánok (meria predfázový tlak difúzneho čerpadla) 9. Spätný ventil 10. Snímač tlaku
11. Predčerpávací ventil 12. Výtokové vývevy 13. Obtokový ventil 14. Elektromagnetický odvzdušňovací ventil
15. Mechanické vákuové čerpadlo
Obr. 1 Schéma typického vákuového systému
1. Vákuová komora 2. Ionizačný vákuový snímač 3. Termočlánok na vákuum 4. Odvzdušňovací ventil
5. Ventil s vysokým vákuom 6. Studená lapač 7. Difúzne čerpadlo 8. Spätný ventil 9. Elektromagnetický odvzdušňovací ventil
10. Mechanické vákuové čerpadlo 11 Predčerpávací ventil
Obr. 2 Schéma typického vákuového systému