Ultra vysoké vákuum jednotka charakter a klasifikovať
Oct 26, 2018| Ultra vysoké vákuum jednotiek nad 10-5pa patrí difúznej pumpy, molekulárne čerpadla ultra-high odsávacou jednotkou a olej zdarma ultra-high odsávacou jednotkou. Jednotka má nasledujúce charakteristiky:
Maximálne vákuum stupeň hlavné čerpadlo je vyššia ako 10-7 ~ 10-8pa.
(2) môže vydržať vysoké teploty 200 ~ 450 ℃ pečenie;
Parciálny tlak návrat plynu hlavné čerpadlo je nízka.
Pre hlavné čerpadlo s vysokou selektivitou, musia byť vybavené dostatočne veľkými pomocné čerpadlo.
(1) ultra-high odsávacou jednotkou difúznej pumpy
Maximálne vákuum Ultra vysoké vákuum jednotky s diffusion čerpadlá ako hlavné čerpadlá je 10-7 ~ 10-8pa.
S cieľom znížiť vplyv reverznej difúzie plynov z prednej etapa difúznej pumpy a reverznej difúzie mechanické čerpadlo oleja na najvyšší stupeň vákua, difúznej pumpy s nižšiu rýchlosť čerpania môžu byť použité na prednej etapa diff Sion čerpadlo k zníženiu kompresného pomeru a zvrátiť šírenie. E¹te titanium sublimácie pascu na vstupe difúznej pumpy, parciálny tlak dusíka z difúznej pumpy sa ďalej zníži, a super-vysoké vákuum 10-11pa je možné získať.
(2) ultra-high odsávacou jednotkou molekulárnej čerpadla
Maximálne vákuum Ultra-High vákuové jednotky, ktoré prevažne používajú molekulárne vývevy, je 10-8pa, ktorý je charakteristický rýchly štart a nízke znečistenie.
Rýchlosť čerpania môže byť zvýšená pridaním tekutým dusíkom vymrazovacou jednotkou. Výstupe mechanická pumpa je vybavená vymrazovacou vody zabrániť vstupu systému olejovú hmlu.
(3) olej zadarmo ultra-high odsávacou jednotkou
Odsávacou jednotkou, ktorá nepoužíva olej aby pracovnej kvapaliny a tesnenia s organického materiálu sa nazýva Super-vysokej odsávacou jednotkou bez oleja. Bežne používané hlavné čerpadlá patria kryogénne čerpadlo, čerpadlo titán, prská iónové pumpy atď. V porovnaní s odsávacou jednotkou olej, má nasledujúce výhody:
Získate čistý vákuum a žiadny zdroj znečistenia.
Po spustení olej zadarmo Vákuová pumpa pred čerpadlo môže byť izolovaný.
Ak vetranie náhle zastaví, systém bude nie znečistená;
To má žiadny olej, žiadny hluk a vibrácie, ktoré zlepšuje pracovné prostredie.
Terminál vákuové stupeň je vysoká rýchlosť čerpania je vysoká a čerpacie čas je krátky.
