Regulátor hromadného prietoku pre všeobecný účel - MKS 1179C
1179C je riadiaci prístroj na všeobecné použitie, určený na meranie a reguláciu prietoku plynov v širokej škále aplikácií. Regulátory hmotnostného prietoku 1179 sú k dispozícii s rozsahom plného rozsahu od 10 sccm do 20 slm, čo zabezpečuje rýchle, opakovateľné riadenie prietoku tak nízke ako ...
- Predstavenie výrobku
ÚVOD
1179C je riadiaci prístroj na všeobecné použitie, určený na meranie a reguláciu prietoku plynov v širokej škále aplikácií. Regulátory hmotnostného prietoku 1179 sú k dispozícii s rozsahom plného rozsahu od 10 sccm do 20 slm, čo zabezpečuje rýchle, opakovateľné riadenie prietoku až na 0,2 sccm. Môže byť tiež použitý ako regulátor tlaku, keď je pripojený k vhodnému snímaču tlaku.
Model 1179C je priamou náhradou formálnej funkcie pre najbežnejšie MFC na dnešnom trhu. Štandardná 3-palcová stopa umožňuje, aby 1179C dopadol priamo do rovnakého priestoru bez toho, aby zmenil existujúce plynovody. Elektrické konektory sú rovnaké konektory typu "D" s rovnakými výstupmi, signálmi a funkciami ako ich priemyselné náprotivky, takže nie je potrebné žiadne prepojenie káblov alebo konektorov. 1179C je kompatibilný s MFC napájaním a elektronikou displeja od MKS alebo iných výrobcov.
VLASTNOSTI A VÝHODY
◆ Patentovaná konštrukcia senzora poskytuje výnimočnú stabilitu nuly
◆ Prietok s plným rozsahom sa pohybuje od 10 sccm do 20 slm pre presné a opakovateľné meranie a riadenie prietoku
◆ Percento presnosti Full Scale pre analógové konfigurácie
◆ Rýchly čas zahrievania minimalizuje drahé prestoje v prevádzke
◆ Kompatibilný so staršími MKS MFC a napájacími / odčítavacími modulmi
♦ Rigorózny návrh a testovanie zahŕňa analýzu MTBF a testovanie STRIFE na zabezpečenie dlhodobého výkonu
◆ Povrchová úprava zvlhčených povrchov z nehrdzavejúcej ocele, spracovanie čistých priestorov a minimálne použitie elastomérových tesnení umožňujú použitie v náročných čistých procesoch
◆ Dvojročná záruka zaručuje kvalitu a spokojnosť zákazníkov
ŠTRUKTÚRA
Diagram priečneho rezu riadiacej jednotky 1179C Mass-Flo
Presnosť a opakovateľnosť toku
Výše uvedený graf zobrazuje typickú presnosť toku a opakovateľnosť analógových MFC v rodine 1179C. Merania boli vykonané pomocou primárneho kalibrátora štandardného prietoku MKS Instruments Califlow® počas 10 dní.
Nulová stabilita
Výše uvedený graf ukazuje vynikajúcu stabilitu nuly a rozpätia senzora 1179C používaného v rodine 1179. Prístroje boli napájané a náhodne testované na nulovanie a posun v rozsahu počas 19 mesiacov.
špecifikácie
| Rozsahy plného rozsahu (ekvivalent N 2) | 10, 20, 50, 100, 200, 500, 1000, 2000, 5000, 10000, 20000 sccm | |
| Maximálny vstupný tlak | 150 psig | |
Normálny prevádzkový tlak diferenciál (s atmosférickým tlak v zásuvke MFC) | 10 až 5000 sccm | 10 až 40 psid |
| 10000 až 30000 sccm | 15 až 40 psidov | |
| Rozsah kontroly | 2% až 100% FS | |
Presnosť (analógová) (vrátane nelinearity, hysterézy a neopakovateľnosti na 760 mmHg a 0 ° C) | ± 1,0% FS | |
| opakovateľnosť | ± 0,2% FS | |
| rezolúcia | 0,1% FS | |
| Teplotné koeficienty | nula | <0,05% fs="" °=""> |
| rozpätie | <0,08%> | |
| Doba zahriatia (do 0,2% FS v rovnovážnom stave) | <2> | |
| Doba nastavenia regulátora (podľa smernice SEMI E17-91) | <2> | |
| Koeficient tlaku | <0,02%> | |
| Normálny rozsah prevádzkových teplôt | 0 ° C až 50 ° C | |
| Vstupné napätie je potrebné | Max. prúd pri štarte (prvé 2 sekundy) | ± 15 Vss (± 5%) pri 200 mA |
| Typický prúd v ustálenom stave | ± 15 Vss (± 5%) pri 100 mA | |
| Príkazový signál príkazového bodu | 0 až 5 VDC od <20k> | |
| Výstupný signál | 0 až 5 VDC do> 10 K Ω | |
| Výstupná impedancia | <1> | |
Typy konektorov analógový | 9-kolíkový alebo 15-kolíkový typ "D" (15-kolíkový konektor typu "D" je elektronicky kompatibilný s inými regulátormi prietoku MKS . Podrobné informácie nájdete v technických častiach aplikácií.) | |
| Mokré materiály | štandardné | 316L SS, Viton®, nikel |
| Voliteľné (tesnenia a sedlo ventilu) | Buna-N, Neoprén®, Kalrez® | |
| Integrita úniku | Externé (scc / sec He) | <1 x=""> |
| Uzavretým ventilom | <1,0% fs="" pri="" vstupe="" 40="" psig="" do=""> (Aby sa zabezpečil žiadny prietok, odporúča sa samostatný uzatvárací ventil.) | |
| Fitinky (kompatibilné s) | Swagelok® 4 VCR®, Swagelok® 4 VCO®, ¼ "Swagelok | |
| dodržiavanie | CE | |
ROZMEROVÝ VÝKRES
Poznámka: Pokiaľ nie je uvedené inak, rozmery sú nominálne hodnoty v palcoch (referenčné mm).
Populárne Tagy: regulátor hromadného toku pre všeobecné použitie - mks 1179c, Čína, výrobcovia, dodávatelia, kúpiť, prispôsobené, vyrobené v Číne
Tiež sa vám môže páčiť
