Základné kroky vákuového PVD povlakovania
Apr 11, 2018| Proces predbežného spracovania
Odstránenie, otryskávanie, leštenie, pasivovanie, čistenie, upínanie
Proces povliekania
Evakuácia, vykurovanie, test úniku vzoriek, čistenie bombardovaním, poťahovanie, chladenie
po liečbe
1. Čistenie: Uistite sa, že povrch výrobku je pred čistením čistý, čistite povrch, tým lepšie je zaručená kvalita povlaku.
2. Vyprázdnenie: Zvyškový plyn sa odsal z vákuovej komory.
3. Vykurovanie: Pece a obrobok sú súčasne zahrievané, aby sa urýchlilo uvoľňovanie zvyškového plynu.
4. Skúška rýchlosti nárastu napätia: Miera úniku plynu a rýchlosť uvoľňovania plynu skúšobnej pece.
5. Čistenie bombardovaním: Odstráňte nečistoty z povrchu obrobku, aby sa odhalil čistý povrch.
6. Povlak: uložený film.
7. Chladenie: Zabráňte oxidácii a odfarbeniu obrobku.
Prečo ho ochladzovať?
Po skončení procesu povliekania je teplota vákuovej komory až do 500 ° C. Ak sa zariadenie bez chladenia evakuuje, povrch vysokoteplotného obrobku, ktorý nie je pokrytý, bude modrý kvôli reakcii so vzduchom.
Ako ochladiť?
1. Na uzavretie vysokého ventilu a vákua a vákuová komora je oddelená od skupiny čerpadiel.
2. Keď operátor stlačí ventilačné tlačidlo N2, vopred pripojený dusík sa naplní do vákuovej komory cez nasávací ventil N2 a keď tlak vo vákuovej komore dosiahne prednastavený tlak tlakového spínača, N2 ventil je uzavretý.
3. Podtlaková komora je naplnená veľkým množstvom N2 a stupeň vákua je veľmi nízky, čo vedie k vedeniu tepla. Môže skrátiť čas chladenia a zvýšiť efektívnosť výroby a skutočný čas chladenia sa môže skrátiť z 90 minút na 60 minút.
4. Pretože hélium má vyššiu tepelnú vodivosť, chladenie hélia je rýchlejšie ako dusík, ale náklady sú vyššie.
5. Program rýchleho chladenia pre cudzie zariadenia môže skrátiť čas chladenia o 50% chladením chladiaceho cyklu plynu.
Dôvody testu zvýšenia tlaku
Vákuové prostredie je najdôležitejším faktorom ovplyvňujúcim konečnú kvalitu povlaku. Pred nanášaním povlaku sa musí vykonať zvýšenie tlaku, aby sa zabezpečilo, že podmienky podtlaku zodpovedajú norme náteru.