Nerovnovážna technika magnetrónového naprašovania v uzavretom poli
Aug 29, 2024| Nerovnovážna magnetrónová naprašovacia technika v uzavretom poli
Technológia nerovnovážneho magnetrónového naprašovania je založená na konvenčnej naprašovacej elektrode, ktorá mení rozloženie magnetického poľa na povrchu naprašovacej elektrody zmenou konfigurácie magnetu. Medzi nimi je najbežnejšia forma, že sila periférneho magnetického poľa je vyššia ako sila centrálneho magnetického poľa, siločiara magnetického poľa netvorí uzavretú slučku medzi perifériou a stredom a niektoré periférne magnetické siločiary sa môžu predĺžiť. od povrchu terča do blízkosti matrice. Pri takejto distribúcii magnetického poľa už plazma nie je obmedzená na povrch terča, ale môže sa rozšíriť na povrch substrátu, čo zvyšuje hustotu iónového lúča na povrchu substrátu. Použitie iónového lúča s vyššou hustotou, ale nižšou energiou na podporu depozície môže nielen zlepšiť kvalitu povlaku, ale tiež zabrániť veľkému vnútornému namáhaniu. Pre viaccieľovú nerovnovážnu technológiu magnetrónového naprašovania s protiľahlými susednými magnetickými pólmi môžu siločiary magnetického poľa na okrajoch susedných dvoch terčov tvoriť "uzavretú pascu" na unikajúce elektróny, ktorá účinne viaže elektróny, aby sa zabránilo strate elektrónov. adsorbované na stenu vákuovej komory v dôsledku zoslabenia magnetického poľa, čím sa výrazne zlepší účinnosť rozprašovania terča. V tejto technike nerovnovážneho magnetrónového naprašovania s uzavretým poľom je oblasť plazmy účinne obmedzená na strednú oblasť vákuovej komory, takže matrica môže získať ideálne bombardovanie iónmi. Štvorcieľový nerovnovážny magnetrónový naprašovací systém s uzavretým poľom je veľmi účinný na nanášanie rovnomerných, hustých a zložitých filmov na komplexné substráty a môže produkovať povlaky s vysokou hustotou, vysokou pevnosťou a vysokou väzbovou silou, ktoré sa široko používajú pri príprave (Cr,Ti,Al)N povlaky.
Spoločnosť IKS PVD, stroj na dekoratívny náter, stroj na poťahovanie nástrojov, stroj na poťahovanie DLC, stroj na optické poťahovanie, linka na vákuové poťahovanie PVD, projekt na kľúč je k dispozícii. Kontaktujte nás teraz, e-mail: iks.pvd@foxmail.com