Vplyv parametrov procesu magnetrónového naprašovania: Vzdialenosť medzi terčom a základňou

Vplyv parametrov procesu magnetrónového naprašovania: vzdialenosť medzi terčom a základňou

Chemické zloženie a štruktúra (Cr,Ti,Al)N kvartérneho povlaku sa môže upraviť zmenou vzdialenosti medzi terčom a substrátom a môžu sa ovplyvniť rôzne vlastnosti povlaku. Jin Jie a kol. použila technológiu nerovnovážneho magnetrónového naprašovania v uzavretom poli na nanášanie (Cr,Ti,Al) N povlakov na oceľovú matricu H13 a študovala a analyzovala hrúbku, zloženie a vlastnosti (Cr,Ti,Al) N kvartérnych povlakov pod rôznymi cieľovými- základné vzdialenosti (80~180 mm) [61]. Experimentálne výsledky ukazujú, že so zvyšujúcou sa vzdialenosťou medzi terčom a základňou sa intenzita magnetického poľa rýchlo zníži a hustota iónového prúdu sa tiež zníži, čo povedie k zníženiu rýchlosti depozície a hrúbky povlaku. Okrem toho so zväčšovaním vzdialenosti medzi terčom obsah kovových prvkov v (Cr,Ti,Al) N povlakoch kontinuálne klesá, zatiaľ čo obsah dusíkatých prvkov kontinuálne stúpa. Mikrotvrdosť povrchu povlaku a väzbová sila filmu sa najskôr zvýšila a potom znížila. Objem opotrebenia a rýchlosť opotrebenia povlaku sa však najskôr znížili a potom zvýšili, to znamená, že odolnosť povlaku proti opotrebeniu sa najprv zvýšila a potom znížila. Je to preto, že tvrdosť a väzbová sila povlaku majú dôležitý vplyv na jeho vlastnosti trenia a opotrebovania. Čím nižšia je väzbová sila filmu, tým je pravdepodobnejšie, že povlak praskne a odlupuje sa počas trenia, čím sa znižuje odolnosť povlaku proti opotrebeniu.

Spoločnosť IKS PVD, stroj na dekoratívny náter, stroj na poťahovanie nástrojov, stroj na poťahovanie DLC, stroj na optické poťahovanie, linka na vákuové poťahovanie PVD, projekt na kľúč je k dispozícii. Kontaktujte nás teraz, e-mail: iks.pvd@foxmail.com