Proces výroby ZnO: Al (AZO) tenké filmy mení magnetrón prská povlak

Proces vytvárania ZnO: Al (AZO) tenké filmy mení magnetrón prská povlak

V súčasnosti patrí hlavné thin-film solárne články: CD (CdTe) thin-film solárne články, se (CIS) thin-film solárne články a amorfného kremíka thin-film solárne články kryštalický kremík thin-film solárne články. Vedci vyvinuli semiš ZnO: Al zárez štruktúru, ktorá je lacná, bohaté na suroviny, netoxické a stabilný výkon. AZO transparentný vodivý film s semiš kráter-ako štruktúra môže zvýšiť účinok rozptylu slnečného svetla, zlepšenie odchytu účinok, zvýšenie absorpčnej solárnej energie batérie a zlepšiť účinnosť konverzie tenkovrstvových solárnych článkov. Vrstva mení magnetrón sputtering proces tvorby AZO transparentný vodivý film na sklenenom substrátu má výhody rýchleho film tvorby, jednotné film vrstva a veľké filmu tvorí oblasť.

Základný princíp mení magnetrón prská proces povliekania: špeciálne anódy a katódy sú umiestnené v uzavretých vákuovej komory, kde katóda je vybavený rozstrekom materiálu a Ar, O2, N2 a iných procesných plynov sú vyplnené vákuovej komory. Pri pôsobení vonkajších napätí molekúl plynu proces výrobu ionizáciu a forme plazmy. Kladne nabité ióny sú na katóde poháňané elektrickým poľom a bombardujú povrchu cieľového materiálu. Rozbombardovaného cieľ atómov vklad pri určitej rýchlosti tvorí tenký film na povrchu skla. Pokiaľ ide o výber cieľových materiály, existujú dva typy cieľové materiály bežne používané pri výrobe transparentný vodivý film AZO mení magnetrón prská procesom. Zinkovo - hliníkovej zliatiny cieľ. Podľa aktuálnej situácie, vybrať vhodný cieľ produkty. Z hľadiska teplota vykurovania sklenená substráte, je ukázala, že je nízka teplota sklenená substráte, pohybové schopnosti film atómov na podklade je zlá, film tvoria rýchlosť sa znižuje, drsnosť film vrstva je zvýšená, spájanie síl medzi filmom a skla je oslabená substrát a odpor je zvýšená. Teplota vysoká skla, byť užitočné pre tenkovrstvových rast, membrány vrstvou hladké uniformu, membrána vrstvy slnka vysokú priepustnosť svetla, všeobecné substrát teploty medzi 200 ~ 300℃. Z hľadiska výberu prská tlak plynu, je vhodné tlak rad mení magnetrón prská 1,33 x 10-1 Pa ~ 1,33 x 10-2 Pa rádovo. Ak je tlak príliš vysoká alebo príliš nízka, nie je priaznivé pre tvorbu kvalitných AZO transparentný vodivý film.

Ako nový materiál TCO, AZO má veľké výhody oproti ITO a FTO. Na dosiahnutie vo veľkom meradle industrializácie, ďalší výskum a vývoj ako znížiť náklady na zariadenia a proces musí vykonať. Štrukturálne výkonnostné AZO tenké filmy zásadne určuje ich fotoelektrický výkonnosť. Ďalší výskum musí byť urobená na parametre procesu na dosiahnutie win-win situácia vysokej kvality a nízke náklady.

IKS PVD prispôsobené vhodný pvd vákuové náterových machine pre vás, kontaktujte nás teraz,

IKS.PVD@Foxmail.com