Pohonný a chladiaci systém PVD povlakového zariadenia
Mar 31, 2018| Pohonný systém
Hnací systém umožňuje, aby substrát tečie z uvedenia substrátu do zariadenia na nanášanie naprašovaním, aby po ukončení spracovania vychádzalo zo zariadenia. Pohonný systém sa skladá z hnacieho motora, rolovacieho kolieska, frekvenčného meniča atď. Dôvody na pridanie pohonného systému sú:
(1) Zabezpečte, aby boli vrstvy s rovnakou hrúbkou široko rozložené.
(2) Jednoduchá realizácia automatického prenosu.
Chladiaci systém
Chladiaci systém sa skladá hlavne z molekulárneho čerpadla s cieľovou cirkulujúcou vodou, komory, skupiny čerpadiel a cirkulujúcej vody chladiaceho motora. Jeho hlavnou funkciou je chladenie vákuovej komory, čerpadla, pohonu, napájania atď. Požiadavky na chladiacu vodu sú:
(1) Teplota: 17 až 22 ° C;
(2) tlak: 2 ~ 3e 0,05 Pa;
(3) Magnetické častice by sa mali odstrániť z vody a voda by mala byť zmäkčená, pH = 6 ~ 8.